Wir sind bestrebt, Ihnen spezielle Größen- und Formanpassungen zu ermöglichen und Farbunterschiede zwischen Chargen zu beheben. Anbieter von Keramikarmen!
Lieferant von Keramikarmen/Keramik-Endeffektoren
Passen Sie Ihre Keramik an
Keramikarm Beschreibung
Keramik-Roboterarme, auch bekannt als keramische Roboterfinger, Waferschalen, runde Wafer-Roboterarmeusw. werden hauptsächlich für den Transport und die Handhabung von Halbleiterausrüstung verwendet und sind für die Lieferung von Wafer-Silizium-Wafern an bestimmte Standorte verantwortlich.
HERRLICHE Produktmerkmale:
▫️Hohe Produktpräzision
▫️Hervorragende Luftdichtheit
▫️Gute Hochtemperaturbeständigkeit
▫️Steuerbarer Oberflächenwiderstand
▫️Starke Säure- und Alkalibeständigkeit sowie Korrosionsbeständigkeit, anpassbar an verschiedene extrem raue Umgebungen
🔷Selbstdichtheitsprüfung: Schalten Sie die Vakuumluftquelle aus, Unterdruck –85 kPa Zu -80 kPa, seit mehr als 60er Jahre
🔷Wafer-Adsorptionstest: Schalten Sie die Vakuumluftquelle aus, Unterdruck -80 kPa Zu -25 kPa, seit mehr als 35 Sekunden
Garantierte Herstellungs- und Versandzeit
GORGEOUS ist ein führender Hersteller von Keramik für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung. Wir haben 15 Wir verfügen über langjährige Technologie und Erfahrung in der Herstellung von Hochleistungskeramik und optimieren und verbessern den Herstellungsprozess von Halbleiterkeramik kontinuierlich. Wir können verschiedene Komponenten wie Keramikarme, Roboter-Endeffektoren, Keramik-Wafer-Chucks usw. individuell für Sie anpassen.
Die Verpackung des Keramikarms kann Ihren Anforderungen entsprechend aus harten, umweltfreundlichen Materialien oder einem weichen Schaumstoffschutz erfolgen.
Unsere Keramik wird weltweit verschickt. Der Transport der Keramik hängt von Ihrem Standort ab. Wir fertigen schnell und individuell nach Ihren Wünschen und wählen die beste Transportmethode. Die schnellste Luftfracht in Nordamerika, Ankunft in 7 Tagen.
GORGEOUS arbeitet mit mehreren führenden Logistikunternehmen zusammen, darunter:
- MSC (Mediterranean Shipping Company)
- Maersk
- CMA CGM
- COSCO
- Hapag-Lloyd
- DHL
- USV
- FedEx
- TNT
Wir arbeiten mit mehreren Spediteuren zusammen, um Ihnen effiziente Versandoptionen zu niedrigeren Preisen zu garantieren. pünktliche Lieferung, Und keine versteckten Gebühren!
Herstellung
Verpackung
Laden
Transport
Hauptleistung des Keramikarms/Keramik-Endeffektors
Leicht
Verschleißfest
Korrosionsbeständig
Hohe Temperaturbeständigkeit
Starke Isolierung
HERRLICHE Anpassbare Produktgenauigkeitsreferenz
| Minimum | Maximal | |
| Gesamtdicke | 1,5 mm | 4 mm |
| Hohlraumdicke | 0,5 mm | 0,7 mm |
| Dicke des Spalts zwischen Hohlraum und Oberfläche | 0,5 mm | – |
| Breite des Hohlraums | 2 mm | 6 mm |
| Abstandsgrenze von der Kante | 2 mm | – |
| Adsorptionsporengröße | 0,5 mm | – |
| Hohlraumlänge | – | 360 mm |
*Die spezifische Genauigkeit muss entsprechend dem tatsächlichen Produktmaterial, der Form und den Prozessanforderungen bestimmt werden.
Passen Sie verschiedene Arten von Halbleiterkeramikarmen an
Angepasste Armmaterialparameter und -auswahl
| Artikel | Einheit | Zirkonia |
| Dichte | g/cm3 | 6.0 |
| Zirkonoxidgehalt | % | 94.4% |
| Körnung | µm | 0.5 |
| Rockwellhärte (45 N) | R45N | 78 |
| Vickershärte (Last 500 g) | GPa (kg/mm)2 ） | 11,5 (1175) |
| Biegefestigkeit (20 °C) | MPa | 800 |
| Druckfestigkeit (20 °C) | MPa | 2000 |
| Bruchzähigkeit (20 °C) | MPam1/2 | 9.0 |
| Wärmeleitfähigkeit (20 °C – 400 °C) | W /（mk） | 2.5 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 10-6 /℃ | 9.6 |
| Thermoschockbeständigkeit | △T℃ | 250 |
| Eigentum | Einheit | AL2O3 99.7 | AL2O3 99.5 | AL2O3 99 | AL2O3 95 |
| Reinheit | — | 99.7% | 99.5% | 99% | 95% |
| Dichte | g/cm3 | 3.92 | 3.9 | 3.8 | 3.7 |
| Biegefestigkeit | MPa | 375 | 370 | 340 | 304 |
| Druckfestigkeit | MPa | 2450 | 2300 | 2250 | 1910 |
| Elastizitätsmodul | Notendurchschnitt | 380 | 370 | 330 | 330 |
| Bruchzähigkeit | MPam1/2 | 4.5 | 4.3 | 4.2 | 3.8 |
| Härte | HRA | 91 | 91 | 90 | 89 |
| Vickershärte | HV1 | 1600 | 1550 | 1450 | 1400 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 10- 6 K-1 | 7.8 | 7.8 | 7.7 | 7.5 |
| Wärmeleitfähigkeit | W/mk | 32 | 32 | 25 | 25 |
| Thermoschockstabilität | △T.℃ | 220 | 220 | 200 | 200 |
| Maximale Betriebstemperatur | ℃ | 1750 | 1750 | 1700 | 1500 |
| Volumenwiderstand bei 20℃ | Ω·cm | 1015 | 1015 | 1014 | 1014 |
| Durchschlagsfestigkeit | KV/mm | 22 | 20 | 16 | 15 |
| Dielektrizitätskonstante (Raumtemperatur) | / | 10 | 11 | 11.5 | 11 |
| MHz Dielektrischer Verlustfaktor | tan δ | 1×10-3 | 1×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| Artikel | Einheit | Siliziumnitrid |
| Dichte | g/cm3 | ＞3.2 |
| Härte | – | HRA90 |
| Vickershärte (Hv50) | HV0.5 | ＞1550 |
| Elastizitätsmodul | Notendurchschnitt | 290 |
| Biegefestigkeit | MPa | ＞600 |
| Druckfestigkeit | MPa | 2500 |
| Bruchzähigkeit | MPam1/2 | ＞6,0 |
| Maximale Gebrauchstemperatur | ℃ | 1200 |
| Wärmeleitfähigkeit | W /（M·K） | 15-20 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 10-6/℃ | ＞3.1 |
| Thermoschockbeständigkeit | △T℃ | 500 |
| Spezifische Wärmekapazität | KJ/kg·K | 700 |
| Durchschlagsfestigkeit | KV/mm | 1 |
| Dielektrizitätskonstante | εr | – |
| Volumenwiderstand bei 20 °C | Ω.cm | 1,0 × 1012 |
Keramikarm/Endeffektor Standardgrößenreferenz
Keramikarme/Endeffektoren sind Schlüsselkomponenten für die Handhabung von Wafern in der Halbleiterfertigung. Wir können sie an die Wafergröße, die Art der Anlage und die Prozessanforderungen anpassen. Hier sind einige gängige Standardgrößen von Keramikarmen als Referenz!
Wählen Sie die Länge des Keramikarms entsprechend dem Wafer:
❇️6-Zoll-Wafer (150 mm): Armlänge: ca. 200-250 mm
❇️8-Zoll-Wafer (200 mm): Armlänge: ca. 250-300 mm
❇️12-Zoll-Wafer (300 mm): Armlänge: ca. 350-400 mm
❇️18-Zoll-Wafer (450 mm): Armlänge: ca. 500-550 mm
Breite und Dicke des Keramikarms
❇️Breite: Typischerweise 20-50 mm, abhängig von Ihrer Wafergröße und der erforderlichen Armtragfähigkeit.
❇️Dicke: Typischerweise 5-15 mm, um ausreichende Festigkeit und Steifigkeit zu gewährleisten und das Gewicht zu reduzieren.
Arm-End-Design
❇️Gabeldesign: Wird häufig für die Handhabung von Wafern verwendet. Breite und Abstand der Gabeln entsprechen den Schlitzen der Waferbox.
❇️Vakuum-Saugnapf-Design: kann den Wafer direkt aufnehmen, die übliche Saugnapfgröße ist 10-20 mm
❇️Kantenklemmdesign: Wird für spezielle Prozesse verwendet, die Spannbereichsbreite ist 5-10 mm
Wofür werden Keramikarme verwendet?
Industrieller Roboterarm
Keramikarme werden in hochpräzisen, verschleißfesten und korrosionsbeständigen Industrierobotern verwendet und können in bestimmten Präzisionsverarbeitungs- und Hochtemperaturumgebungen stabil arbeiten.
Halbleiterfertigung
Beim Chipherstellungsprozess müssen Siliziumscheiben zwischen verschiedenen Prozessschritten (wie Lithografie, Ätzen, Abscheidung usw.) transportiert werden, und Keramikarme können als Handhabungsmanipulatoren in einer staubfreien Umgebung fungieren.
Elektronikfertigung
Keramikarme für die Elektronikfertigung eignen sich für Prozesse mit hohen Sauberkeitsanforderungen wie Vakuumbeschichtung, Chipherstellung und OLED-Displayherstellung. Sie können den Einfluss der Wärmeausdehnung von Metallmaterialien vermeiden und die Stabilität verbessern.
Wissenschaftliche Forschung
In Laborgeräten, die Korrosionsbeständigkeit und Beständigkeit gegen hohe Temperaturen erfordern, können Keramikarme in Bereichen wie der chemischen Synthese, Plasmaexperimenten und der Supraleitungsforschung eingesetzt werden.
Lebensmittel- und Pharmaindustrie
Keramische Materialien enthalten keine Metallionenablagerungen und eignen sich für Bereiche wie die Lebensmittelverarbeitung und die Verpackung pharmazeutischer Produkte, in denen eine extrem hohe Materialreinheit erforderlich ist.
Kompletter Fertigungsservice für Keramikarme
15+ Langjährige Erfahrung. Hohe Präzision und OEM-Design. Professionelles Forschungs- und Entwicklungsteam. Wettbewerbsfähiger Preis.
Unsere Passerfolge Referenzen
Wird der Keramikarm/Keramik-Endeffektor mit der Zeit verschleißen?
Ja, der Keramikarm nutzt sich mit der Zeit ab, insbesondere in rauen Umgebungen. Aber keine Sorge, Keramik ist ein sehr hartes und langlebiges Material. Bei richtiger Pflege können Sie es viele Jahre lang verwenden.
Was könnte dazu führen, dass ein Keramikarm bricht?
Schnelle Temperaturschwankungen können einen Thermoschock verursachen und den Keramikarm brechen. Auch Überlastung, Kollisionen oder starke Stöße über die Nennkapazität hinaus können zum Bruch führen.
Wie oft sollten Sie Ihren Keramikarm überprüfen?
Regelmäßige wöchentliche Inspektionen ermöglichen Ihnen, Probleme frühzeitig zu erkennen. Keramikarme können sich nach längerem Gebrauch abnutzen, reißen oder lösen. Wir empfehlen Ihnen, regelmäßige Wartungsarbeiten durchzuführen.
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