Ceramika półprzewodnikowa

Od obróbki płytek, adsorpcji próżniowej, precyzyjnego montażu po procesy wysokotemperaturowe — firma GORGEOUS zapewnia klientom kompleksowe, dostosowane do indywidualnych potrzeb rozwiązania w zakresie ceramiki półprzewodnikowej.

Precyzyjne ceramiczne elementy konstrukcyjne

Przemysł Pan-Półprzewodnikowy

\
Firma GORGEOUS może dostosować do potrzeb klientów różnorodne komponenty urządzeń półprzewodnikowych – ramiona ceramiczne, uchwyty elektrostatyczne, dysze, pierścienie trawiące, okna trawiące itp.
\
Począwszy od doboru surowców, poprzez analizę i projektowanie charakterystyki produktu, pomagamy dostosować ceramikę półprzewodnikową do Twojego zastosowania.
\
Do produkcji półprzewodnikowych elementów ceramicznych stosujemy wyłącznie wysokiej jakości, czyste proszki, które są bardziej odporne na zużycie i korozję, co wydłuża żywotność Twoich produktów.
\
Jakość naszych produktów jest gwarantowana na poziomie 100%, a proces pozyskiwania surowców jest przejrzysty i możliwy do prześledzenia!
\
Szybka produkcja i szybka dostawa, dzięki czemu możesz mieć pewność, że nie będziesz mieć żadnych zmartwień po sprzedaży.

Opis ceramiki półprzewodnikowej

Zaawansowana ceramika stanowi kluczowy element sprzętu do produkcji półprzewodników. Podczas procesu produkcji półprzewodników wytwarzana jest duża ilość plazmy, a kluczowe jest stosowanie materiałów odpornych na plazmę jako komponentów wyposażenia. W porównaniu z metalami, żywicami i szkłem, zaawansowana ceramika jest bardziej wydajna i niezawodna. Jej rezystywność zwykle mieści się pomiędzy przewodnikami i izolatorami, a jej izolacja elektryczna jest doskonała, co czyni ją bardzo odpowiednią do procesów produkcji półprzewodników.

Dostarczamy Państwu wszystkie niezbędne materiały ceramiczne:

Tlenek glinu (Al2O3)  — Bardzo wysoka czystość i sztywność;

Azotek glinu (AlN)  — Doskonała przewodność cieplna i izolacja;

Azotek krzemu (Si3N4)  — Bardzo wysoka wytrzymałość na pękanie i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej;

Węglik krzemu (SiSiC) Niska gęstość i współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Na podstawie Twoich potrzeb możemy zalecić Ci najlepszy materiał do stworzenia dla Ciebie ultraprecyzyjnych półprzewodnikowych elementów ceramicznych!

 

Gwarancja czasu produkcji i wysyłki

GORGEOUS współpracuje z wieloma wiodącymi międzynarodowymi firmami logistycznymi, aby szybko wyprodukować dla Ciebie produkty i dostarczyć je na czas i w nienaruszonym stanie!

Produkcja i transport ceramiki zależą od procesu i Twojej lokalizacji. Szybko wyprodukujemy je dla Ciebie zgodnie z Twoim planem i wybierzemy najlepszą metodę transportu. Najszybsza dostawa lotnicza w Ameryce Północnej, dociera w ciągu 7 dni.

Firmy logistyczne, z którymi współpracujemy to m.in.:

  • MSC (Śródziemnomorska Kompania Żeglugowa)
  • Maersk
  • CMA-CGM
  • COSCO
  • Hapag-Lloyd
  • DHL
  • UPS
  • FedEx
  • TNT

Współpracujemy z wieloma spedytorami, aby zagwarantować Ci wydajne opcje wysyłki po niższych cenach, dostawa na czas, I bez ukrytych opłat!

Produkcja

Uszczelka

Załadunek

Transport

Główne właściwości ceramiki półprzewodnikowej

Wysoka twardość

Odporny na zużycie

Odporny na korozję

Odporność na wysoką temperaturę

Mocna izolacja

PIĘKNY Dostosowywalny produkt Dokładność odniesienia

Technologia przetwarzania parametr Osiągalna dokładność
Przemiał Płaskość, paralelizm, Ra Ra≥0,05 μm”
Płaskość<1μm
Szlifowanie Płaskość 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm
Chropowatość Ra od 0,15 μm do 0,6 μm
Równoległość 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm
Erodowanie Symetryczny Maks. 0,05 mm (otwór/szczelina pozycjonująca)
Polerowanie Płaskość, równoległość, szorstkość Ra0,06μm-0,35μm
Płaskość<2μm
Równoległość<2μm
Strukturyzacja Chropowatość Chropowatość < 3,2 μm
Rozmiar < 150 μm

*Szczegółową dokładność należy określić na podstawie rzeczywistego materiału, kształtu i wymagań procesowych produktu.

Ceramika półprzewodnikowa

Opcjonalny proces ceramiczny półprzewodnikowy

Typ produktu Specjalne życzenia
Podłoże ceramiczne Polerowanie, metalizacja, złocenie
Ramię ceramiczne Polerowanie lustrzane, otwory wentylacyjne, powłoka antystatyczna
Pierścienie/uszczelki ceramiczne Piaskowanie, powlekanie teflonem, powlekanie powierzchni
Rurka ceramiczna Polerowanie ścianek wewnętrznych, prasowanie izostatyczne na gorąco, powlekanie powierzchni
Przyssawka ceramiczna Przetwarzanie mikrootworów, przetwarzanie otworów ślepych, projektowanie otworów adsorpcyjnych
Ceramiczny element grzejny Powłoka metalizowana, szkliwo powierzchniowe, powłoka antystatyczna

 

                         Uchwyt ceramiczny z tlenku glinu | Uchwyt mikroporowaty | Uchwyt ceramiczny porowaty | Uchwyt waflowy | Uchwyt ceramiczny | Części urządzeń półprzewodnikowych | Uchwyt urządzeń CMP          Płyta ceramiczna z tlenku glinu | Części do urządzeń litograficznych Canon | Kamień czyszczący z tlenku glinu | Akcesoria ceramiczne do urządzeń półprzewodnikowych          Pierścień ceramiczny półprzewodnikowy

                         Pierścień ceramiczny półprzewodnikowy          Pierścień ceramiczny półprzewodnikowy          Pierścień ceramiczny półprzewodnikowy

                         Pierścień ceramiczny półprzewodnikowy          Części urządzeń półprzewodnikowych 99,7 ceramika glinowa Ceramika przemysłowa          Części ceramiczne z węglika krzemu/uchwyt tygla/uchwyt ceramiczny/osprzęt ceramiczny

                         Osprzęt półprzewodnikowy/Ceramiczne części z węglika krzemu/Wspornik tygla platynowego/Wspornik tygla ceramicznego          Osprzęt półprzewodnikowy/Ceramiczne części z węglika krzemu/Wspornik tygla platynowego/Wspornik tygla ceramicznego          Robot ceramiczny półprzewodnikowy

                         Akcesoria półprzewodnikowe          Części ceramiczne półprzewodnikowe | Precyzyjne uchwyty mechaniczne | Części o specjalnym kształcie z ceramiki glinowej          Widelec ceramiczny półprzewodnikowy

 

Parametry i wybór dostosowanych materiałów ceramicznych półprzewodnikowych

Uchwyt ceramiczny półprzewodnikowy
Przedmiot Jednostka Azotek krzemu
Gęstość g/cm3 >3.2
Twardość HRA90
Twardość Vickersa (Hv50) HV0,5 >1550
Moduł sprężystości GPa 290
Wytrzymałość na zginanie MPa >600
Wytrzymałość na ściskanie MPa 2500
Wytrzymałość na pękanie MPam1/2 >6.0
Maksymalna temperatura użytkowania 1200
Przewodność cieplna W / (M·K) 15-20
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 10-6    /℃ >3.1
Odporność na szok termiczny △T℃ 500
Ciepło właściwe KJ/kg·K 700
Wytrzymałość dielektryczna KV/mm 1
Stała dielektryczna εr
Rezystywność objętościowa w temp. 20℃ Ωcm 1,0×1012

 

Przedmiot Jednostka Węglik krzemu spiekany bezciśnieniowo Reakcja wiązania węglika krzemu Rekrystalizowany spiekany węglik krzemu
Maksymalna temperatura pracy 1600 1380 1650
Gęstość g/cm3 >3.1 >3.02 >2.6
Porowatość % <0,1 <0,1 15%
Wytrzymałość na zginanie MPa >400 250(20℃) 90-100(20℃)
MPa 280(1200℃) 100-120(1100℃)
Moduł sprężystości GPa 420 330(20℃) 240
GPa 300(1200℃)
Przewodność cieplna W/mk 74 45(1200℃) 24
Współczynnik rozszerzalności cieplnej K-1×10-6 4.1 4.5 4.8
Twardość Vickersa GPa 22 20
Odporność na kwasy i zasady doskonały doskonały doskonały

 

Nieruchomość Jednostka glin2O3 99.7 glin2O3 99.5 glin2O3 99 glin2O3 95
Czystość 99.7% 99.5% 99% 95%
Gęstość g/cm3 3.92 3.9 3.8 3.7
Wytrzymałość na zginanie MPa 375 370 340 304
Wytrzymałość na ściskanie MPa 2450 2300 2250 1910
Moduł sprężystości GPa 380 370 330 330
Wytrzymałość na pękanie MPam1/2 4.5 4.3 4.2 3.8
Twardość HRA 91 91 90 89
Twardość Vickersa HV1 1600 1550 1450 1400
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 10- 6    K-1 7.8 7.8 7.7 7.5
Przewodność cieplna W/mk 32 32 25 25
Stabilność szoku termicznego △T.℃ 220 220 200 200
Maksymalna temperatura pracy 1750 1750 1700 1500
Rezystancja objętościowa przy 20℃ Ω·cm 1015 1015 1014 1014
Wytrzymałość dielektryczna KV/mm 22 20 16 15
Stała dielektryczna (temperatura pokojowa) / 10 11 11.5 11
Współczynnik strat dielektrycznych MHz opalony δ 1×10-3 1×10-3 3×10-3 3×10-3

 

Przedmiot Jednostka Azotek glinu
Gęstość g/cm3 3.31
Moduł sprężystości GPa 310
Wytrzymałość na pękanie MPa × m1/2 3.5
Współczynnik Poissona 0.25
Kompresyjny MPa 2100
Wytrzymałość na zginanie MPa 335
Twardość (Vickers) GPa 11
Twardość (Knoop 100g) kg/mm2 1170

 

Dostosowywalny ceramiczny koniec wału Typ odniesienia

Czym jest ceramika półprzewodnikowa?

Produkty z materiału glinowego

❇️Płyty polerskie do wafli:Wysoka twardość i odporność na zużycie zapewniają wysoką precyzję i długą żywotność polerowania płytek.

❇️Efektory końcowe / obsługa płytek:Doskonała wytrzymałość mechaniczna i stabilność chemiczna, odpowiednia do pracy z waflami w środowiskach o wysokiej czystości.

❇️Produkty metalizowane:Dobra przewodność elektryczna i odporność na wysoką temperaturę, nadaje się do urządzeń elektronicznych dużej mocy.

❇️Pierścienie komorowe / tarcze rozpylające:Wysoka czystość i odporność na korozję zapewniają stabilność i spójność procesu osadzania cienkich warstw.

Produkty z węglika krzemu

❇️Płyty polerskie do wafli:Bardzo wysoka twardość i przewodność cieplna, odpowiednie do wydajnego i precyzyjnego polerowania płytek.

❇️Uchwyty elektrostatyczne:Doskonała przewodność cieplna i izolacja elektryczna zapewniają stabilną adsorpcję płytek w wysokich temperaturach.

❇️Uchwyty próżniowe:Wysoka wytrzymałość i odporność na ciepło, nadaje się do mocowania płytek w środowisku wysokiej próżni.

❇️Efektory końcowe / obsługa płytek:Lekkie i bardzo sztywne, odpowiednie do szybkiej i precyzyjnej obróbki płytek.

❇️Pierścienie Komory:Doskonała odporność na wysokie temperatury i korozję, nadaje się do trudnych warunków procesu produkcji półprzewodników.

Jakie jest zastosowanie ceramiki półprzewodnikowej?

Ceramiczne ramię robota/ceramiczny procesor końcowy

Ceramiczne ramię pełni rolę przenoszenia i przenoszenia w sprzęcie półprzewodnikowym, co jest odpowiednikiem ramienia robota sprzętu półprzewodnikowego. Jest ono głównie odpowiedzialne za transport płytek i chipów krzemowych do wyznaczonych lokalizacji.

Grzałka ceramiczna półprzewodnikowa

Grzałki półprzewodnikowe mają doskonałą przewodność cieplną, odporność na wysoką temperaturę i izolację elektryczną. Mogą się szybko i równomiernie nagrzewać i są szeroko stosowane w produkcji półprzewodników, sprzęcie optoelektronicznym i innych scenariuszach.

Uchwyt ceramiczny do płytek próżniowych

Uchwyt próżniowy do płytek jest ważnym urządzeniem do precyzyjnej obróbki i produkcji półprzewodników, zaprojektowanym do mocowania i obsługi płytek krzemowych lub innych cienkich materiałów. Może wykorzystywać zasadę adsorpcji próżniowej, aby zapewnić stabilność płytki i jej nieruchomość podczas przetwarzania, testowania lub czyszczenia.

Części sprzętu półprzewodnikowego

W wielu urządzeniach półprzewodnikowych stosuje się zaawansowane produkty ceramiczne, takie jak ceramiczne dyski izolacyjne, ceramiczne pierścienie izolacyjne, termistory, ceramikę gazoczułą, ceramikę światłoczułą itp.

Kompleksowa usługa produkcji ceramiki półprzewodnikowej

15+ Lata doświadczenia. Wysoka precyzja i projekt OEM. Profesjonalny zespół badawczo-rozwojowy. Konkurencyjna cena.

Nasze sukcesy w przepustkach Referencje

Opinie użytkowników
Jaki jest okres użytkowania Państwa produktów?

Nasze półprzewodnikowe produkty ceramiczne charakteryzują się doskonałą trwałością i mogą pracować stabilnie przez długi czas w wysokich temperaturach, przy wysokim ciśnieniu i w środowiskach korozyjnych, co pozwala ograniczyć koszty wymiany.

Jak wybierać materiały?

Zalecamy wybór odpowiedniego materiału w zależności od różnych scenariuszy zastosowania:

  • Azotek glinu (AlN): Posiada doskonałą przewodność cieplną (>170 W/m·K) i izolację elektryczną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w urządzeniach półprzewodnikowych dużej mocy.
  • Tlenek glinu (Al₂O₃): Charakteryzuje się dobrą wytrzymałością mechaniczną i odpornością na korozję, jest szeroko stosowany w konwencjonalnych elementach elektronicznych.
  • Azotek krzemu (Si₃N₄): Charakteryzuje się wysoką stabilnością temperaturową i odpornością na uderzenia, dzięki czemu jest szczególnie odpowiedni do stosowania w kluczowych komponentach pracujących w trudnych warunkach.
Twoje możliwości personalizacji

Wspieramy dostosowywanie różnych specyfikacji i złożonych struktur. Niezależnie od tego, czy chodzi o precyzyjną obróbkę na poziomie mikronów, czy produkcję części o specjalnych kształtach, możemy spełnić Twoje wymagania.