Gốm bán dẫn
Từ quá trình xử lý wafer, hấp phụ chân không, lắp ráp chính xác đến quy trình nhiệt độ cao, GORGEOUS cung cấp cho khách hàng các giải pháp gốm bán dẫn tùy chỉnh trọn gói.
Các bộ phận kết cấu gốm chính xác
Ngành công nghiệp bán dẫn toàn phần
Mô tả về gốm bán dẫn
Gốm sứ tiên tiến là một phần quan trọng của thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Một lượng lớn plasma được tạo ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, và việc sử dụng vật liệu chống plasma làm linh kiện thiết bị là rất quan trọng. So với kim loại, nhựa và thủy tinh, gốm sứ tiên tiến có hiệu suất cao hơn và độ tin cậy cao hơn. Điện trở suất của chúng thường nằm giữa chất dẫn điện và chất cách điện, và khả năng cách điện tuyệt vời, khiến chúng rất phù hợp cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Chúng tôi cung cấp cho bạn tất cả các vật liệu gốm sứ bạn cần:
✅Nhôm oxit (Al2O3) — Độ tinh khiết và độ cứng cực cao;
✅Nhôm nitrua (AlN) — Độ dẫn nhiệt và cách nhiệt tuyệt vời;
✅Silic nitrua (Si3N4) — Độ bền gãy cực cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp;
✅Cacbua silic (SiSiC)— Mật độ và hệ số giãn nở vì nhiệt thấp.
Dựa trên nhu cầu của bạn, chúng tôi có thể đề xuất vật liệu tốt nhất để bạn tạo ra các linh kiện gốm bán dẫn có độ chính xác cực cao!
Đảm bảo thời gian sản xuất và vận chuyển
GORGEOUS hợp tác với nhiều công ty logistics quốc tế hàng đầu để sản xuất cho bạn một cách nhanh chóng và giao sản phẩm đến tay bạn đúng thời hạn và nguyên vẹn!
Việc sản xuất và vận chuyển đồ gốm bị ảnh hưởng bởi quy trình và vị trí của bạn. Chúng tôi sẽ nhanh chóng sản xuất chúng cho bạn theo kế hoạch của bạn và chọn phương thức vận chuyển tốt nhất. Dịch vụ giao hàng bằng đường hàng không nhanh nhất ở Bắc Mỹ, giao hàng trong vòng 7 ngày.
Các công ty hậu cần mà chúng tôi hợp tác bao gồm:
- MSC (Công ty vận tải biển Địa Trung Hải)
- Maersk
- CMA-CGM
- COSCO
- Hapag-Lloyd
- DHL
- Bộ lưu điện
- FedEx
- Thuốc nổ TNT
Chúng tôi làm việc với nhiều công ty giao nhận hàng hóa để đảm bảo cho bạn các lựa chọn vận chuyển hiệu quả với giá thấp hơn, giao hàng đúng hạn, Và không có phí ẩn!
Chế tạo
Đóng gói
Đang tải
Vận tải
Tính chất chính của gốm bán dẫn
Độ cứng cao
Chống mài mòn
Chống ăn mòn
Khả năng chịu nhiệt độ cao
Cách nhiệt mạnh mẽ
Tham chiếu độ chính xác của sản phẩm có thể tùy chỉnh TUYỆT VỜI
| Công nghệ chế biến | tham số | Độ chính xác có thể đạt được |
| Xay xát | Độ phẳng, độ song song, Ra | Ra≥0,05 μm” Độ phẳng＜1μm |
| Mài | Độ phẳng | 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm |
| Độ nhám | Ra từ 0,15 μm đến 0,6 μm | |
| Sự song song | 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm | |
| Xói mòn | Đối xứng | Tối đa 0,05mm (lỗ/rãnh định vị) |
| Đánh bóng | Độ phẳng, Độ song song, Độ nhám | Ra0,06μm-0,35μm Độ phẳng＜2μm Độ song song＜2μm |
| Cấu trúc | Độ nhám | Độ nhám < 3,2 μm Kích thước < 150 μm |
*Độ chính xác cụ thể cần được xác định theo yêu cầu thực tế về vật liệu, hình dạng và quy trình sản phẩm.
Quy trình tùy chọn gốm bán dẫn
| Loại sản phẩm | Yêu cầu đặc biệt |
| Chất nền gốm | Đánh bóng, phủ kim loại, mạ vàng |
| Cánh tay gốm | Đánh bóng gương, khe thông gió, lớp phủ chống tĩnh điện |
| Vòng/Gioăng gốm | Phun cát, phủ Teflon, phủ bề mặt |
| Ống gốm | Đánh bóng thành trong, ép đẳng tĩnh nóng, phủ bề mặt |
| Cốc hút gốm | Gia công lỗ siêu nhỏ, gia công lỗ mù, thiết kế lỗ thoát khí hấp phụ |
| Thanh gia nhiệt bằng gốm | Lớp phủ kim loại, lớp men bề mặt, lớp phủ chống tĩnh điện |
Thông số và lựa chọn vật liệu gốm bán dẫn tùy chỉnh
| Mục | Đơn vị | Silic Nitride |
| Tỉ trọng | g/cm3 | ＞3.2 |
| Độ cứng | – | HRA90 |
| Độ cứng Vickers (Hv50) | HV0.5 | ＞1550 |
| Mô đun đàn hồi | Điểm trung bình | 290 |
| Độ bền uốn | MPa | ＞600 |
| Sức mạnh nén | MPa | 2500 |
| Độ bền gãy | MPam1/2 | ＞6.0 |
| Nhiệt độ sử dụng tối đa | ℃ | 1200 |
| Độ dẫn nhiệt | W /（M·K） | 15-20 |
| Hệ số giãn nở nhiệt | 10-6 /℃ | ＞3.1 |
| Khả năng chống sốc nhiệt | △T℃ | 500 |
| Nhiệt dung riêng | KJ/kg·K | 700 |
| Độ bền điện môi | KV/mm | 1 |
| Hằng số điện môi | εr | – |
| Điện trở suất thể tích ở 20℃ | Ω.cm | 1,0×1012 |
| Mục | Đơn vị | Silicon Carbide thiêu kết không áp suất | Silicon Carbide liên kết phản ứng | Silicon Carbide thiêu kết kết tinh lại |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | ℃ | 1600 | 1380 | 1650 |
| Tỉ trọng | g/cm3 | ＞3.1 | ＞3.02 | ＞2,6 |
| Độ xốp | % | ＜0,1 | ＜0,1 | 15% |
| Sức mạnh uốn cong | MPa | ＞400 | 250（20℃） | 90-100（20℃） |
| MPa | – | 280（1200℃） | 100-120（1100℃） | |
| Mô đun đàn hồi | Điểm trung bình | 420 | 330（20℃） | 240 |
| Điểm trung bình | – | 300（1200℃） | – | |
| Độ dẫn nhiệt | W/mk | 74 | 45(1200℃) | 24 |
| Hệ số giãn nở nhiệt | K-1×10-6 | 4.1 | 4.5 | 4.8 |
| Độ cứng Vickers | Điểm trung bình | 22 | 20 | – |
| Kháng axit và kiềm | – | xuất sắc | xuất sắc | xuất sắc |
| Tài sản | Đơn vị | AL2Ồ3 99.7 | AL2Ồ3 99.5 | AL2Ồ3 99 | AL2Ồ3 95 |
| Độ tinh khiết | — | 99.7% | 99.5% | 99% | 95% |
| Tỉ trọng | g/cm3 | 3.92 | 3.9 | 3.8 | 3.7 |
| Sức mạnh uốn cong | MPa | 375 | 370 | 340 | 304 |
| Sức mạnh nén | MPa | 2450 | 2300 | 2250 | 1910 |
| Mô đun đàn hồi | Điểm trung bình | 380 | 370 | 330 | 330 |
| Độ bền gãy | MPam1/2 | 4.5 | 4.3 | 4.2 | 3.8 |
| Độ cứng | HRA | 91 | 91 | 90 | 89 |
| Độ cứng Vickers | HV1 | 1600 | 1550 | 1450 | 1400 |
| Hệ số giãn nở nhiệt | 10- 6 K-1 | 7.8 | 7.8 | 7.7 | 7.5 |
| Độ dẫn nhiệt | Có/không | 32 | 32 | 25 | 25 |
| Độ ổn định sốc nhiệt | △T.℃ | 220 | 220 | 200 | 200 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | ℃ | 1750 | 1750 | 1700 | 1500 |
| Sức cản thể tích ở 20℃ | Ω·cm | 1015 | 1015 | 1014 | 1014 |
| Độ bền điện môi | KV/mm | 22 | 20 | 16 | 15 |
| Hằng số điện môi (nhiệt độ phòng) | / | 10 | 11 | 11.5 | 11 |
| Hệ số tổn thất điện môi MHz | tan δ | 1×10-3 | 1×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| Mục | Đơn vị | Nhôm Nitrua |
| Tỉ trọng | g/cm3 | 3.31 |
| Mô đun đàn hồi | Điểm trung bình | 310 |
| Độ bền gãy | MPa × m1/2 | 3.5 |
| Tỷ số Poisson | – | 0.25 |
| Nén | MPa | 2100 |
| Độ bền uốn | MPa | 335 |
| Độ cứng (Vickers) | Điểm trung bình | 11 |
| Độ cứng (Knoop 100g) | Kg/mm2 | 1170 |
Loại tham chiếu đầu trục gốm có thể tùy chỉnh
Sản phẩm vật liệu alumina
❇️Tấm đánh bóng wafer:Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao đảm bảo độ chính xác cao và tuổi thọ lâu dài cho quá trình đánh bóng wafer.
❇️Bộ phận tác động cuối / Xử lý wafer:Độ bền cơ học và độ ổn định hóa học tuyệt vời, thích hợp để xử lý wafer trong môi trường có độ sạch cao.
❇️Sản phẩm kim loại hóa：Độ dẫn điện tốt và khả năng chịu nhiệt độ cao, thích hợp cho các thiết bị điện tử công suất cao.
❇️Vòng buồng / Mục tiêu bắn phá：Độ tinh khiết cao và khả năng chống ăn mòn đảm bảo tính ổn định và nhất quán của quá trình lắng đọng màng mỏng.
Sản phẩm vật liệu Silicon Carbide
❇️Tấm đánh bóng wafer:Độ cứng và độ dẫn nhiệt cực cao, thích hợp cho việc đánh bóng wafer hiệu quả và có độ chính xác cao.
❇️Mâm cặp tĩnh điện:Độ dẫn nhiệt và cách điện tuyệt vời đảm bảo khả năng hấp thụ ổn định của các tấm wafer ở nhiệt độ cao.
❇️Đầu kẹp chân không：Độ bền và khả năng chịu nhiệt cao, thích hợp để cố định wafer trong môi trường chân không cao.
❇️Bộ phận tác động cuối / Xử lý wafer:Nhẹ và có độ cứng cao, thích hợp cho việc xử lý wafer tốc độ cao, độ chính xác cao.
❇️Vòng buồng：Khả năng chống ăn mòn và chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, phù hợp với môi trường xử lý bán dẫn khắc nghiệt.
Công dụng của gốm bán dẫn là gì?
Cánh tay robot gốm/Bộ xử lý đầu gốm
Cánh tay gốm đóng vai trò vận chuyển và mang vác trong thiết bị bán dẫn, tương đương với cánh tay robot của thiết bị bán dẫn. Nó chủ yếu chịu trách nhiệm vận chuyển wafer và chip silicon đến các vị trí được chỉ định.
Máy sưởi gốm bán dẫn
Bộ gia nhiệt bán dẫn có khả năng dẫn nhiệt, chịu nhiệt độ cao và cách điện tuyệt vời. Chúng có thể gia nhiệt nhanh và đều, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, thiết bị quang điện tử và các ứng dụng khác.
Chân không wafer gốm chuck
Mâm cặp wafer chân không là một thiết bị quan trọng trong gia công chính xác và sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế để cố định và xử lý wafer silicon hoặc các vật liệu mỏng khác. Nó có thể sử dụng nguyên lý hấp phụ chân không để đảm bảo wafer ổn định và không bị xê dịch trong quá trình gia công, thử nghiệm hoặc vệ sinh.
Linh kiện thiết bị bán dẫn
Nhiều thiết bị bán dẫn sử dụng các sản phẩm gốm tiên tiến, chẳng hạn như đĩa cách điện gốm, vòng cách điện gốm, nhiệt điện trở, gốm nhạy khí, gốm nhạy sáng, v.v.
Dịch vụ sản xuất gốm bán dẫn một cửa
15+ Nhiều năm kinh nghiệm. Thiết kế OEM và độ chính xác cao. Đội ngũ R&D chuyên nghiệp. Giá cả cạnh tranh.
Thành công của chúng tôi Lời chứng thực
Tuổi thọ của sản phẩm của bạn là bao lâu?
Sản phẩm gốm bán dẫn của chúng tôi có độ bền tuyệt vời và có thể hoạt động ổn định trong thời gian dài ở môi trường nhiệt độ cao, áp suất cao và ăn mòn, giúp bạn giảm chi phí thay thế.
Làm thế nào để chọn vật liệu?
Tùy theo các tình huống ứng dụng khác nhau, chúng tôi khuyên bạn nên chọn vật liệu phù hợp:
- Nhôm nitride (AlN): Có độ dẫn nhiệt và cách điện tuyệt vời (>170 W/m·K) và phù hợp với các thiết bị bán dẫn công suất cao.
- Nhôm oxit (Al₂O₃): Có độ bền cơ học và khả năng chống ăn mòn tốt và được sử dụng rộng rãi trong các linh kiện điện tử thông thường.
- Silicon nitride (Si₃N₄): Có độ ổn định ở nhiệt độ cao và khả năng chống va đập, đặc biệt thích hợp cho các thành phần chính trong môi trường khắc nghiệt.
Khả năng tùy chỉnh của bạn
Chúng tôi hỗ trợ tùy chỉnh nhiều thông số kỹ thuật và cấu trúc phức tạp. Dù là gia công chính xác đến từng micron hay sản xuất các chi tiết có hình dạng đặc biệt, chúng tôi đều có thể đáp ứng yêu cầu của bạn.
Tiếng Việt 
English 
Español 
Português (AO90) 
Français 
Deutsch (Sie) 
Русский 
Italiano 
Nederlands 
العربية 
Türkçe 
Polski 
한국어 
日本語 
Bahasa Indonesia 
简体中文