Aluminum nitride ceramic robotic arms, also known as aluminum nitride ceramic robotic fingers, wafer trays, or round wafer robotic arms, are mainly used for the transportation and handling of semiconductor equipment, responsible for delivering silicon wafers to designated locations.
Aluminum nitride robotic arms combine high thermal conductivity, excellent electrical insulation, a low coefficient of thermal expansion, and superior dimensional stability, greatly contributing to ensuring precise wafer transport and minimizing particle generation and thermal deformation.
GORGEOUS CERAMICS (GGS) can custom-produce aluminum nitride ceramic robotic arms based on customer-provided drawings and supports semiconductor equipment manufacturers (OEMs), automation integrators, and advanced equipment manufacturers worldwide.
Key Properties of Aluminum Nitride Ceramics
Przewodność cieplna
Aluminum nitride ceramics boast a high thermal conductivity of 170–200 W/m·K, enabling rapid heat dissipation and minimizing temperature gradients during wafer processing.
Izolacja elektryczna
The electrical insulation properties of aluminum nitride ceramics provide reliable electrical isolation for semiconductor devices operating under high voltage or sensitive process conditions.
Vacuum Compatibility
Aluminum nitride ceramics are ideally suited for vacuum chambers and cleanroom environments due to their low gas release characteristics.
Lightweight and Highly Rigid
Compared to metal robotic arms, aluminum nitride ceramic arms maintain structural integrity while minimizing deformation.
Ceramiczny uchwyt/efektor końcowy Standardowy rozmiar odniesienia
Wybierz długość ramienia ceramicznego w zależności od płytki:
6-inch wafer (150mm): Arm length: about 200-250mm
8-inch wafer (200mm): Arm length: about 250-300mm
12-inch wafer (300mm): Arm length: about 350-400mm
18-inch wafer (450mm): Arm length: about 500-550mm
Szerokość i grubość ramienia ceramicznego
Width: Typically 20-50mm, depending on your wafer size and required arm load capacity.
Thickness: Typically 5-15mm, to ensure adequate strength and rigidity and reduce weight.
Konstrukcja końcówki ramienia
Fork design: commonly used for handling wafers, the width and spacing of the forks match the slots of the wafer box
Vacuum suction cup design: can directly absorb the wafer, the common suction cup size is 10-20mm
Edge clamping design: used for special processes, the clamping area width is 5-10mm
Applications of ceramic arms
W procesie produkcji układów scalonych płytki krzemowe muszą być przenoszone pomiędzy różnymi etapami procesu (takimi jak litografia, trawienie, osadzanie itp.), a ramiona ceramiczne mogą pełnić funkcję manipulatorów w środowisku wolnym od pyłu.
Ceramiczne ramiona do produkcji elektroniki nadają się do procesów o wysokich wymaganiach czystości, takich jak powlekanie próżniowe, produkcja chipów i produkcja wyświetlaczy OLED. Mogą one zapobiegać wpływowi rozszerzalności cieplnej materiałów metalowych i poprawiać stabilność.
W sprzęcie laboratoryjnym, w którym wymagana jest odporność na korozję i wysokie temperatury, ramiona ceramiczne można stosować w takich dziedzinach, jak synteza chemiczna, eksperymenty plazmowe i badania nad nadprzewodnictwem.
Materiały ceramiczne nie zawierają osadów jonów metali i nadają się do stosowania w takich dziedzinach jak przetwórstwo żywności i pakowanie produktów farmaceutycznych, gdzie wymagana jest wyjątkowo wysoka czystość materiałów.
Często zadawane pytania
What is an aluminum nitride ceramic robotic arm?
An aluminum nitride ceramic robotic arm is a type of precision ceramic component widely used in semiconductor and automation equipment for wafer handling and material transfer.
Why choose aluminum nitride over metal robotic arms?
Because aluminum nitride ceramics have high thermal conductivity, excellent electrical insulation, and dimensional stability.
Can GORGEOUS CERAMICS (GGS) manufacture robotic arms according to customer drawings?
Yes, we can provide customized services based on customer specifications and CAD drawings.
