Полупроводниковая керамика
От обработки пластин, вакуумной адсорбции, прецизионной сборки до высокотемпературных процессов — компания GORGEOUS предоставляет клиентам комплексные индивидуальные решения в области полупроводниковой керамики.
Прецизионные керамические конструкционные детали
Пан-полупроводниковая промышленность
Описание полупроводниковой керамики
Современная керамика является важнейшей частью оборудования для производства полупроводников. В процессе производства полупроводников образуется большое количество плазмы, и крайне важно использовать плазмостойкие материалы в качестве компонентов оборудования. По сравнению с металлами, смолами и стеклом, усовершенствованная керамика более производительна и надежна. Ее удельное сопротивление обычно находится между проводниками и изоляторами, а ее электроизоляция превосходна, что делает ее очень подходящей для процессов производства полупроводников.
Мы предоставим вам все необходимые керамические материалы:
✅Глинозем (Al2O3) — Сверхвысокая чистота и жесткость;
✅Нитрид алюминия (AlN) — Отличная теплопроводность и изоляция;
✅Нитрид кремния (Si3N4) — Сверхвысокая вязкость разрушения и низкий коэффициент термического расширения;
✅Карбид кремния (SiSiC)— Низкая плотность и коэффициент теплового расширения.
Исходя из Ваших потребностей, мы можем порекомендовать Вам наилучший материал для создания для Вас сверхточных полупроводниковых керамических компонентов!
Гарантия сроков изготовления и доставки
GORGEOUS сотрудничает с несколькими ведущими международными логистическими компаниями, чтобы быстро производить для вас продукцию и доставлять ее вам вовремя и в целости и сохранности!
Изготовление и транспортировка керамики зависят от процесса и вашего местонахождения. Мы быстро изготовим их для вас по вашему плану и выберем лучший способ транспортировки. Самая быстрая авиадоставка в Северной Америке, прибытие за 7 дней.
Логистические компании, с которыми мы сотрудничаем:
- MSC (Средиземноморская судоходная компания)
- Маерск
- CMA CGM
- КОСКО
- Хапаг-Ллойд
- DHL
- UPS
- FedEx
- ТНТ
Мы работаем с несколькими экспедиторами, чтобы гарантировать вам эффективные варианты доставки по более низким ценам. своевременная доставка, и никаких скрытых платежей!
Производство
Упаковка
Загрузка
Транспорт
Основные свойства полупроводниковой керамики
Высокая твердость
Износостойкий
Устойчив к коррозии
Высокая термостойкость
Сильная изоляция
ВЕЛИКОЛЕПНЫЙ Настраиваемый справочник точности продукта
| Технология обработки | параметр | Достижимая точность |
| Фрезерование | Плоскостность, параллельность, Ra | Ra≥0,05 мкм” Плоскостность＜1мкм |
| Шлифовка | Плоскостность | 5 мкм < Ø 200 мм / 10 мкм > Ø 200 мм |
| Шероховатость | Ra от 0,15 мкм до 0,6 мкм | |
| Параллелизм | 5 мкм < Ø 200 мм / 10 мкм > Ø 200 мм | |
| Размывание | Симметричный | Макс. 0,05 мм (отверстие/позиционирующий паз) |
| Полировка | Плоскостность, параллельность, шероховатость | Ra0,06мкм-0,35мкм Плоскостность＜2мкм Параллельность＜2мкм |
| Структурирование | Шероховатость | Шероховатость < 3,2 мкм Размер < 150 мкм |
*Конкретную точность необходимо определять в соответствии с фактическими требованиями к материалу, форме и процессу изготовления изделия.
Дополнительный процесс производства полупроводниковой керамики
| Тип продукта | Особые запросы |
| Керамическая подложка | Полировка, металлизация, золочение |
| Керамическая рука | Зеркальная полировка, вентиляционные отверстия, антистатическое покрытие |
| Керамические кольца/прокладки | Пескоструйная обработка, тефлоновое покрытие, поверхностное покрытие |
| Керамическая трубка | Полировка внутренних стенок, горячее изостатическое прессование, покрытие поверхности |
| Керамическая присоска | Обработка микроотверстий, обработка глухих отверстий, проектирование адсорбционных отверстий |
| Керамический нагревательный элемент | Металлизированное покрытие, поверхностная глазурь, антистатическое покрытие |
Индивидуальные параметры и выбор полупроводниковых керамических материалов
| Элемент | Единица | Нитрид кремния |
| Плотность | г/см3 | ＞3.2 |
| Твёрдость | – | HRA90 |
| Твердость по Виккерсу (Hv50) | HV0.5 | ＞1550 |
| Модуль упругости | ГПа | 290 |
| Прочность на изгиб | МПа | ＞600 |
| Прочность на сжатие | МПа | 2500 |
| Вязкость разрушения | MPam1/2 | ＞6.0 |
| Максимальная температура использования | ℃ | 1200 |
| Теплопроводность | Вт/(М·К) | 15-20 |
| Коэффициент теплового расширения | 10-6 /℃ | ＞3.1 |
| Устойчивость к термическому удару | △T℃ | 500 |
| Удельная теплоемкость | КДж/кг·К | 700 |
| Диэлектрическая прочность | КВ/мм | 1 |
| Диэлектрическая постоянная | εr | – |
| Объемное сопротивление при 20℃ | Ом.см | 1,0×1012 |
| Элемент | Единица | Спеченный без давления карбид кремния | Реакционно-связанный карбид кремния | Рекристаллизованный спеченный карбид кремния |
| Максимальная рабочая температура | ℃ | 1600 | 1380 | 1650 |
| Плотность | г/см3 | ＞3.1 | ＞3.02 | ＞2.6 |
| Пористость | % | ＜0.1 | ＜0.1 | 15% |
| Прочность на изгиб | МПа | ＞400 | 250（20℃） | 90-100（20℃） |
| МПа | – | 280 (1200℃) | 100-120 (1100℃) | |
| Модуль упругости | ГПа | 420 | 330（20℃） | 240 |
| ГПа | – | 300 (1200℃) | – | |
| Теплопроводность | Вт/мк | 74 | 45(1200℃) | 24 |
| Коэффициент теплового расширения | К-1×10-6 | 4.1 | 4.5 | 4.8 |
| Твердость по Виккерсу | ГПа | 22 | 20 | – |
| Устойчивость к кислотам и щелочам | – | отличный | отличный | отличный |
| Свойство | Единица | АЛ2О3 99.7 | АЛ2О3 99.5 | АЛ2О3 99 | АЛ2О3 95 |
| Чистота | — | 99.7% | 99.5% | 99% | 95% |
| Плотность | г/см3 | 3.92 | 3.9 | 3.8 | 3.7 |
| Прочность на изгиб | МПа | 375 | 370 | 340 | 304 |
| Прочность на сжатие | МПа | 2450 | 2300 | 2250 | 1910 |
| Модуль упругости | ГПа | 380 | 370 | 330 | 330 |
| Вязкость разрушения | MPam1/2 | 4.5 | 4.3 | 4.2 | 3.8 |
| Твёрдость | HRA | 91 | 91 | 90 | 89 |
| Твердость по Виккерсу | HV1 | 1600 | 1550 | 1450 | 1400 |
| Коэффициент теплового расширения | 10- 6 К-1 | 7.8 | 7.8 | 7.7 | 7.5 |
| Теплопроводность | Вт/мк | 32 | 32 | 25 | 25 |
| Устойчивость к термическому шоку | △T.℃ | 220 | 220 | 200 | 200 |
| Максимальная рабочая температура | ℃ | 1750 | 1750 | 1700 | 1500 |
| Объемное сопротивление при 20℃ | Ом·см | 1015 | 1015 | 1014 | 1014 |
| Диэлектрическая прочность | КВ/мм | 22 | 20 | 16 | 15 |
| Диэлектрическая проницаемость (комнатная температура) | / | 10 | 11 | 11.5 | 11 |
| МГц Коэффициент диэлектрических потерь | тангенс δ | 1×10-3 | 1×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| Элемент | Единица | Нитрид алюминия |
| Плотность | г/см3 | 3.31 |
| Модуль упругости | ГПа | 310 |
| Вязкость разрушения | МПа × м1/2 | 3.5 |
| Коэффициент Пуассона | – | 0.25 |
| компрессионный | МПа | 2100 |
| Прочность на изгиб | МПа | 335 |
| Твёрдость (по Виккерсу) | ГПа | 11 |
| Твёрдость (Кнуп 100г) | Кг/мм2 | 1170 |
Настраиваемый керамический конец вала Тип Ссылка
Изделия из глиноземного материала
❇️Пластины для полировки пластин：Высокая твердость и износостойкость обеспечивают высокую точность и длительный срок службы полировки пластин.
❇️Концевые эффекторы / Обработка пластин：Отличная механическая прочность и химическая стабильность, подходит для обработки пластин в условиях высокой чистоты.
❇️Металлизированные изделия：Хорошая электропроводность и устойчивость к высоким температурам, подходит для мощных электронных устройств.
❇️Кольца камеры / Мишени распыления：Высокая чистота и коррозионная стойкость обеспечивают стабильность и последовательность процесса нанесения тонких пленок.
Изделия из карбида кремния
❇️Пластины для полировки пластин：Чрезвычайно высокая твердость и теплопроводность, подходит для эффективной и высокоточной полировки пластин.
❇️Электростатические патроны：Отличная теплопроводность и электроизоляция обеспечивают стабильную адсорбцию пластин при высоких температурах.
❇️Вакуумные зажимные приспособления：Высокая прочность и термостойкость, подходит для фиксации пластин в условиях высокого вакуума.
❇️Концевые эффекторы / Обработка пластин：Легкий и очень жесткий, подходит для высокоскоростной и высокоточной обработки пластин.
❇️Кольца камер：Превосходная стойкость к высоким температурам и коррозии, подходит для жестких условий эксплуатации в полупроводниковой промышленности.
Каковы области применения полупроводниковой керамики?
Керамическая рука робота/процессор керамических концов
Керамическая рука выполняет роль конвейера и переноса в полупроводниковом оборудовании, что эквивалентно руке робота полупроводникового оборудования. Она в основном отвечает за транспортировку пластин и кремниевых чипов в назначенные места.
Полупроводниковый керамический нагреватель
Полупроводниковые нагреватели обладают превосходной теплопроводностью, высокой термостойкостью и электроизоляцией. Они могут нагреваться быстро и равномерно и широко используются в производстве полупроводников, оптоэлектронном оборудовании и других сценариях.
Вакуумный керамический держатель пластин
Вакуумный держатель пластин является важным устройством для точной обработки и производства полупроводников, предназначенным для фиксации и перемещения кремниевых пластин или других тонких материалов. Он может использовать принцип вакуумной адсорбции, чтобы гарантировать, что пластина стабильна и не перемещается во время обработки, тестирования или очистки.
Детали полупроводникового оборудования
Во многих полупроводниковых приборах используются современные керамические изделия, такие как керамические изоляционные диски, керамические изоляционные кольца, термисторы, газочувствительная керамика, светочувствительная керамика и т. д.
Комплексные услуги по производству полупроводниковой керамики
15+ Многолетний опыт. Высокая точность и OEM-дизайн. Профессиональная команда НИОКР. Конкурентоспособная цена.
Наши успехи в прохождении Отзывы
Каков срок службы вашей продукции?
Наши полупроводниковые керамические изделия обладают превосходной долговечностью и могут стабильно работать в течение длительного времени в условиях высоких температур, высокого давления и агрессивных сред, что снижает ваши расходы на замену.
Как выбрать материалы?
В зависимости от различных вариантов применения мы рекомендуем вам выбрать правильный материал:
- Нитрид алюминия (AlN): обладает превосходной теплопроводностью (>170 Вт/м·К) и электроизоляцией, подходит для мощных полупроводниковых приборов.
- Оксид алюминия (Al₂O₃): обладает хорошей механической прочностью и коррозионной стойкостью и широко используется в обычных электронных компонентах.
- Нитрид кремния (Si₃N₄): обладает высокой температурной стабильностью и ударопрочностью и особенно подходит для ключевых компонентов, работающих в суровых условиях.
Ваши возможности настройки
Мы поддерживаем кастомизацию различных спецификаций и сложных структур. Будь то обработка на уровне микронной точности или изготовление деталей специальной формы, мы можем удовлетворить ваши требования.
Русский 
English 
Español 
Português (AO90) 
Français 
Deutsch (Sie) 
Italiano 
Nederlands 
العربية 
Türkçe 
Polski 
한국어 
日本語 
Bahasa Indonesia 
Tiếng Việt