MAGNÍFICO Calentador ALN Experto en disipación de calor en el procesamiento de obleas
Calentador ALN es uno de nuestros productos destacados, Combinando lo mejor de ambos mundos: cerámica y metal. Este diseño innovador, logrado a través de metalización, lo convierte en la solución perfecta para sus diversas fabricación de semiconductores y equipos electrónicos necesidades.
Nosotros utilizamos material de nitruro de aluminio de alto rendimiento para dotar al calentador ALN de una uniformidad térmica excepcional y resistencia a la corrosión, lo que lo hace ideal para procesamiento de obleas. Además, Ofrecemos servicios personalizados Para satisfacer sus diversas necesidades, Ayudándote mejorar la eficiencia de producción y procesamiento mejorando al mismo tiempo la calidad de sus productos.
Descubriendo las características del calentador ALN:
- Excelente uniformidad del campo de temperatura:
Nuestro calentador ALN está fabricado con Material de nitruro de aluminio de alta conductividad térmica, asegurando una uniformidad excepcional del campo de temperatura en un amplio rango de temperaturas (hasta 790 grados Celsius). Esto se traduce en una temperatura constante durante el procesamiento de las obleas. mejorando en última instancia el rendimiento del producto y la velocidad del procesamiento de producción.
- Diseño que ahorra espacio:
A través de co-sinterización del elemento calefactor de resistencia y el electrodo de RF en bloque dentro de la cerámica ALN, Logramos un diseño compacto y eficiente para el calentador ALN. Esto no solo reduce el tamaño general de su equipo, sino que también mejora la eficiencia de calentamiento y la velocidad de transferencia de calor. ahorrando valioso espacio de producción.
- Excelente resistencia a la corrosión:
El calentadores cerámicos de nitruro de aluminio Cuenta con una excelente resistencia a la corrosión causada por gases halógenos y entornos oxidantes. Esto le permite mantener la estabilidad a largo plazo en entornos de alta temperatura y funcionamiento continuo. prolongando la vida útil de su equipo y reduciendo el costo de operación y mantenimiento de rutina.
- Función de sujeción pendiente de diseño para obleas:
Al sinterizar el electrodo de RF con la placa cerámica, El calentador ALN integra la funcionalidad de un Electrodo de mandril electrostático para sujeción de obleas. Esta función simplifica su proceso de producción, lo que conduce a una mejor velocidad y eficiencia de producción: un beneficio muy valorado en el procesamiento de obleas.
- Soluciones personalizadas:
Entendemos que cada proceso de producción tiene requisitos únicos. Por eso ofrecemos Soluciones de calentadores ALN personalizadas Para satisfacer sus diversas necesidades. Ya sea por el tamaño, requisitos de energía, o configuración de electrodos, Podemos adaptar el producto para integrarlo perfectamente con su proceso de producción específico.
Material de ALN Datos de propiedades:
La siguiente tabla resume las propiedades clave del material AlN:
Nombre | Pureza [%] | Densidad [g/cm³] | Resistividad de volumen [Ωcm] (temperatura ambiente) | Conductividad térmica [W/m·K] (Temperatura ambiente) | Coeficiente de expansión térmica (1000 ℃) | Resistencia [MPa] (Temperatura ambiente) | Módulo de Young [GPa] (temperatura ambiente) | Constante dieléctrica (13,56 MHz, relé) |
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Nitruro de aluminio/AlN | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
Nitruro de aluminio/AlN | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
Nitruro de aluminio/AlN | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
Experimente la MARAVILLOSA diferencia:
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