Splendido riscaldatore ALN Esperto di dissipazione del calore nella lavorazione dei wafer
Riscaldatore ALN è uno dei nostri prodotti in evidenza, combinando il meglio di entrambi i mondi: ceramica e metallo. Questo design innovativo, raggiunto attraverso metallizzazione, lo rende la soluzione perfetta per i tuoi vari produzione di semiconduttori e apparecchiature elettroniche esigenze.
Noi utilizziamo materiale in nitruro di alluminio ad alte prestazioni per conferire al riscaldatore ALN un'eccezionale uniformità termica e resistenza alla corrosione, rendendolo ideale per lavorazione delle wafer. Inoltre, noi offriamo servizi personalizzati per soddisfare le vostre diverse esigenze, aiutandoti migliorare l'efficienza della produzione e della lavorazione migliorando al contempo la qualità dei vostri prodotti.
Presentazione delle caratteristiche del riscaldatore ALN:
- Eccezionale uniformità del campo di temperatura:
Il nostro riscaldatore ALN è realizzato in materiale in nitruro di alluminio ad alta conduttività termica, garantendo un'eccezionale uniformità del campo termico in un ampio intervallo di temperature (fino a 790 gradi Celsius). Ciò si traduce in una temperatura costante durante la lavorazione dei wafer, migliorando in definitiva la resa del prodotto e la velocità di elaborazione della produzione.
- Design salvaspazio:
Attraverso co-sinterizzazione dell'elemento riscaldante a resistenza e dell'elettrodo RF a blocchi all'interno della ceramica ALN, otteniamo un design compatto ed efficiente per il riscaldatore ALN. Ciò non solo riduce le dimensioni complessive dell'apparecchiatura, ma migliora anche l'efficienza del riscaldamento e la velocità di trasferimento del calore, risparmiando prezioso spazio di produzione.
- Eccellente resistenza alla corrosione:
IL riscaldatori ceramici in nitruro di alluminio vanta un'eccezionale resistenza alla corrosione causata da gas alogeni e ambienti ossidanti. Ciò consente di mantenere la stabilità a lungo termine in ambienti ad alta temperatura e funzionamento continuo, prolungando la durata utile delle vostre apparecchiature e riducendo i costi di gestione e manutenzione ordinaria.
- Funzione di serraggio in attesa di progettazione per wafer:
Sinterizzando l'elettrodo RF con la piastra in ceramica, il riscaldatore ALN integra la funzionalità di un elettrodo di serraggio elettrostatico per wafer. Questa funzionalità semplifica il processo di produzione, portando a una maggiore velocità ed efficienza di produzione, un vantaggio molto apprezzato nella lavorazione dei wafer.
- Soluzioni personalizzate:
Sappiamo che ogni processo produttivo ha requisiti unici. Ecco perché forniamo soluzioni personalizzate per riscaldatori ALN per soddisfare le vostre diverse esigenze. Che si tratti di dimensioni, requisiti di potenza, o configurazione degli elettrodi, possiamo personalizzare il prodotto per integrarlo perfettamente nel tuo specifico processo produttivo.
Materiale ALN Dati delle proprietà:
La tabella seguente riassume le proprietà principali del materiale AlN:
Nome | Purezza [%] | Densità [g/cm³] | Resistività di volume [Ωcm] (temperatura ambiente) | Conduttività termica [W/m·K] (temperatura ambiente) | Coefficiente di dilatazione termica (1000℃) | Resistenza [MPa] (temperatura ambiente) | Modulo di Young [GPa] (temperatura ambiente) | Costante dielettrica (13,56 MHz, relè) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
AlN/nitruro di alluminio | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
AlN/nitruro di alluminio | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
AlN/nitruro di alluminio | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
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