Aluminum nitride ceramic robotic arms, also known as aluminum nitride ceramic robotic fingers, wafer trays, or round wafer robotic arms, are mainly used for the transportation and handling of semiconductor equipment, responsible for delivering silicon wafers to designated locations.
Aluminum nitride robotic arms combine high thermal conductivity, excellent electrical insulation, a low coefficient of thermal expansion, and superior dimensional stability, greatly contributing to ensuring precise wafer transport and minimizing particle generation and thermal deformation.
GORGEOUS CERAMICS (GGS) can custom-produce aluminum nitride ceramic robotic arms based on customer-provided drawings and supports semiconductor equipment manufacturers (OEMs), automation integrators, and advanced equipment manufacturers worldwide.
Key Properties of Aluminum Nitride Ceramics
Conductivité thermique
Aluminum nitride ceramics boast a high thermal conductivity of 170–200 W/m·K, enabling rapid heat dissipation and minimizing temperature gradients during wafer processing.
Isolation électrique
The electrical insulation properties of aluminum nitride ceramics provide reliable electrical isolation for semiconductor devices operating under high voltage or sensitive process conditions.
Vacuum Compatibility
Aluminum nitride ceramics are ideally suited for vacuum chambers and cleanroom environments due to their low gas release characteristics.
Lightweight and Highly Rigid
Compared to metal robotic arms, aluminum nitride ceramic arms maintain structural integrity while minimizing deformation.
Référence de taille standard du bras/effecteur terminal en céramique
Choisissez la longueur du bras en céramique en fonction de la plaquette :
6-inch wafer (150mm): Arm length: about 200-250mm
8-inch wafer (200mm): Arm length: about 250-300mm
12-inch wafer (300mm): Arm length: about 350-400mm
18-inch wafer (450mm): Arm length: about 500-550mm
Largeur et épaisseur du bras en céramique
Width: Typically 20-50mm, depending on your wafer size and required arm load capacity.
Thickness: Typically 5-15mm, to ensure adequate strength and rigidity and reduce weight.
Conception de l'extrémité du bras
Fork design: commonly used for handling wafers, the width and spacing of the forks match the slots of the wafer box
Vacuum suction cup design: can directly absorb the wafer, the common suction cup size is 10-20mm
Edge clamping design: used for special processes, the clamping area width is 5-10mm
Applications of ceramic arms
Dans le processus de fabrication de puces, les plaquettes de silicium doivent être transférées entre différentes étapes du processus (telles que la lithographie, la gravure, le dépôt, etc.), et les bras en céramique peuvent servir de manipulateurs de manipulation dans un environnement sans poussière.
Les bras en céramique pour la fabrication électronique conviennent aux procédés exigeant une propreté élevée, tels que le revêtement sous vide, la fabrication de puces et d'écrans OLED. Ils permettent d'éviter l'effet de la dilatation thermique des matériaux métalliques et d'améliorer la stabilité.
Dans les équipements de laboratoire nécessitant une résistance à la corrosion et aux environnements à haute température, les bras en céramique peuvent être utilisés dans des domaines tels que la synthèse chimique, les expériences sur le plasma et la recherche sur la supraconductivité.
Les matériaux céramiques ne contiennent pas de précipitation d'ions métalliques et conviennent aux domaines tels que la transformation des aliments et l'emballage pharmaceutique qui nécessitent une propreté des matériaux extrêmement élevée.
FAQ
What is an aluminum nitride ceramic robotic arm?
An aluminum nitride ceramic robotic arm is a type of precision ceramic component widely used in semiconductor and automation equipment for wafer handling and material transfer.
Why choose aluminum nitride over metal robotic arms?
Because aluminum nitride ceramics have high thermal conductivity, excellent electrical insulation, and dimensional stability.
Can GORGEOUS CERAMICS (GGS) manufacture robotic arms according to customer drawings?
Yes, we can provide customized services based on customer specifications and CAD drawings.
