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Um guia completo para cerâmicas de nitreto de alumínio

Data de publicação: 2024-11-13 10:42:36

Desde 2023, o tamanho do mercado global de nitreto de alumínio atingiu 151,5 milhões de dólares americanos e espera-se que continue a crescer de 2024 a 2032, de 159,8 milhões de dólares americanos para 246,5 milhões de dólares americanos. Isso demonstra a importância do nitreto de alumínio como um material avançado.

Você tem algum conhecimento sobre cerâmicas de nitreto de alumínio? Neste artigo, mostraremos a você as principais características e o valor da aplicação das cerâmicas de nitreto de alumínio.

 

 


Links rápidos

  1. Introdução à Cerâmica de Nitreto de Alumínio
  2. Propriedades de desempenho da cerâmica de nitreto de alumínio
  3. Processo de fabricação de nitreto de alumínio
  4. Aplicação de Cerâmicas de Nitreto de Alumínio
  5. Como escolher produtos de nitreto de alumínio?

 


Se você não tem tempo para ler muitos textos, preparamos algumas perguntas comuns de outros usuários, na esperança de ajudá-lo.

  1. Perguntas frequentes.

 


Introdução à Cerâmica de Nitreto de Alumínio

 

O que é cerâmica de nitreto de alumínio?

Cerâmica de nitreto de alumínio são feitos de nitreto de alumínio, que é um material cerâmico não óxido de alto desempenho composto de elementos de alumínio e nitrogênio, e sua fórmula química é AlN.

Cerâmicas de nitreto de alumínio têm propriedades físicas e químicas muito excelentes, e sua cor em aplicações práticas geralmente é branco-sujo ou amarelo-claro.

Cerâmica de nitreto de alumínio

Cerâmica de nitreto de alumínio

A importância da cerâmica de nitreto de alumínio na indústria moderna

Talvez você descubra que a cerâmica de nitreto de alumínio pode ser vista em muitos lugares do cotidiano. Sim, a cerâmica de nitreto de alumínio desempenha um papel indispensável na indústria moderna.

Cerâmica de nitreto de alumínio resistente a altas temperaturas

Como um material cerâmico eletrônico de alto desempenho, a cerâmica de nitreto de alumínio é geralmente amplamente utilizada em vários campos, como fabricação de semicondutores, embalagens de LED, dispositivos eletrônicos de alta potência e aeroespacial.

A condutividade térmica do nitreto de alumínio pode ser superior a 170 W/mK e também possui excelentes propriedades de isolamento. Devido à combinação dessas duas propriedades, seu efeito na obtenção de dissipação de calor e isolamento eletrônico é ainda mais significativo!

Vale ressaltar que em comparação com óxido de alumínio (Al2O3), que também é um material cerâmico, a condutividade térmica do nitreto de alumínio é muito superior a 5 vezes; por outro lado, comparado ao óxido de berílio (BeO) tóxico, o nitreto de alumínio não apenas mantém uma condutividade térmica semelhante, como também supera o problema da toxicidade. Em resumo, podemos constatar a superioridade e a confiabilidade do nitreto de alumínio na indústria moderna!

 


Propriedades de desempenho da cerâmica de nitreto de alumínio

 

A seguir estão algumas propriedades da cerâmica de nitreto de alumínio para sua referência:

Categoria de Desempenho

Indicadores de Desempenho

Valor do parâmetro

Unidade

Propriedades térmicas

Condutividade térmica (25℃)

170-321

W/(m·K)

Coeficiente de expansão térmica (25-400℃)

4.5

×10⁻⁶/℃

Temperatura máxima de operação (gás inerte)

2200

°C

Temperatura de início da oxidação (ar)

700

°C

Propriedades elétricas

Resistividade volumétrica (25℃)

1014

Ω·cm

Velocidade da constante dielétrica (1 MHz)

8.5-9.0

Perda Dielétrica (1MHz)

0.0005

Tensão de ruptura Força

15-20

kV/mm

Propriedades Mecânicas

Densidade

3.26

g/cm³

Dureza Vickers

12

GPa

Resistência à flexão

350-420

MPa

Módulo de elasticidade

320

GPa

Razão de Poisson

0.22

Resistência à compressão

3000

MPa

Propriedades térmicas

Condutividade térmica:

A característica mais notável da cerâmica de nitreto de alumínio é sua excelente condutividade térmica. Em condições normais de temperatura, sua condutividade térmica pode atingir 321 W/(m·K) e, em aplicações reais, a condutividade térmica da cerâmica de nitreto de alumínio policristalina pode geralmente exceder 170 W/(m·K). Por esse excelente desempenho, ela supera em muito a da cerâmica de alumina.

Coeficiente de expansão térmica:

O coeficiente de expansão térmica da cerâmica de nitreto de alumínio também merece atenção. Seu coeficiente de expansão térmica é compatível com o do silício. O coeficiente de expansão térmica do nitreto de alumínio na faixa de 25 a 400°C é de 4,5×10-6/°C, enquanto o coeficiente de expansão térmica do silício é de 3,5-4×10⁻⁶/°C. Uma comparação entre os dois mostra que eles são muito próximos. Portanto, com este excelente desempenho de correspondência, o acúmulo de tensões durante o ciclo térmico pode ser efetivamente reduzido, aumentando significativamente a vida útil dos equipamentos eletrônicos.

Estabilidade térmica:

Em termos de estabilidade térmica, a cerâmica de nitreto de alumínio ainda apresenta excelente desempenho e altíssima resistência ao calor. Em atmosfera inerte, ela pode permanecer estável a uma temperatura de 2.200 °C. Mesmo no ar, a oxidação da superfície só começará a ocorrer quando a temperatura estiver acima de 700 °C, e a camada de óxido da superfície pode, por sua vez, proteger o material interno até 1.370 °C.

 

Propriedades elétricas

Isolamento elétrico:

Ao escolher o material cerâmico eletrônico certo, as propriedades elétricas são um fator-chave que não pode ser ignorado. O nitreto de alumínio possui excelentes propriedades de isolamento elétrico, e sua resistividade volumétrica pode atingir mais de 10¹⁴ Ω·cm à temperatura ambiente. Esse alto desempenho de isolamento garante que o nitreto de alumínio tenha altíssima confiabilidade em aplicações de dispositivos eletrônicos de alta tensão.

Constante Dielétrica/Rigidez Dielétrica:

A constante dielétrica do nitreto de alumínio é de cerca de 8,5-9 (1 MHz) e a perda dielétrica é de cerca de 0,0005. Essas características o tornam uma escolha ideal para dispositivos eletrônicos de alta frequência. Ao mesmo tempo, a rigidez dielétrica do nitreto de alumínio pode atingir 15-20 kV/mm, o que melhora efetivamente a capacidade de proteção do isolamento.

 

Propriedades Mecânicas

As cerâmicas de nitreto de alumínio também apresentam diversas propriedades mecânicas excelentes. Sua dureza Vickers é de cerca de 12 GPa e sua resistência à flexão pode atingir 350-420 MPa. Essas excelentes resistências mecânicas são muito superiores às das cerâmicas de alumina, permitindo que mantenham boa confiabilidade em ambientes severos.

 

Resistência à corrosão

Em termos de durabilidade, o nitreto de alumínio apresenta excelente resistência à corrosão química. O nitreto de alumínio apresenta bom desempenho diante da corrosão causada pela maioria dos metais fundidos (como cobre, lítio, alumínio, etc.), e essa propriedade permite que ele mantenha boa estabilidade mesmo em ambientes químicos agressivos.

Vale ressaltar que o nitreto de alumínio também apresenta excelente resistência à fadiga. Em um ambiente de alta temperatura, a atenuação da resistência do nitreto de alumínio é de apenas cerca de 20% da resistência à temperatura ambiente. Comparada à alumina comum, a alumina geralmente perde 50% de sua resistência nas mesmas circunstâncias.

 


 

Processo de fabricação de nitreto de alumínio

Você tem curiosidade sobre como as cerâmicas de nitreto de alumínio são fabricadas? O processo de fabricação das cerâmicas de nitreto de alumínio afeta diretamente seu desempenho final. A seguir, apresentaremos uma compreensão mais aprofundada de várias etapas importantes na fabricação de nitreto de alumínio.

 

Síntese de pó de nitreto de alumínio

A síntese do pó de nitreto de alumínio é a base de todo o processo de fabricação. Atualmente, são utilizados dois métodos principais: redução carbotérmica e nitretação direta.

O método de redução carbotérmica consiste em reagir alumina com carbono em atmosfera de nitrogênio a 1500-1800 °C. Este método é relativamente barato e adequado para produção em larga escala.

O método de nitretação direta consiste em permitir que o pó de alumínio metálico reaja diretamente com o nitrogênio. Este método permite obter um produto com maior pureza.

 

Processo de moldagem

A moldagem é uma etapa fundamental na determinação do formato final da cerâmica. Os principais métodos de moldagem incluem prensagem a seco, injeção, prensagem isostática, etc.

Moldagem por prensagem a seco:Este método de moldagem é adequado para produtos cerâmicos com formas simples, como substratos e substratos. Ao pressurizar uniformemente o pó de nitreto de alumínio, ele é moldado no formato desejado.

Moldagem por injeção:Este método de moldagem é adequado para a fabricação de peças com formas complexas. É necessário misturar pó de nitreto de alumínio com um ligante orgânico para formar uma pasta e injetá-la no molde para moldagem.

Moldagem por prensagem isostática:Este método de moldagem é adequado para a fabricação de produtos cerâmicos de grande porte e formatos regulares. Por meio da prensagem isostática hidráulica, garante-se uma densidade uniforme do produto.

 

Processo de sinterização

A sinterização é uma etapa muito importante no processo de fabricação de cerâmica e também um processo fundamental para o aprimoramento de cerâmicas de nitreto de alumínio. Devido às características de ligação covalente do nitreto de alumínio, é necessário um controle especial do processo durante a sinterização. A sinterização por prensagem a quente e a sinterização assistida por pressão em duas etapas são frequentemente utilizadas.

Se uma quantidade adequada de óxido de ítrio (Y₂O₃) for adicionada como auxiliar de sinterização, a temperatura de sinterização pode ser significativamente reduzida e a densidade do material pode ser aumentada. A temperatura ideal de sinterização é geralmente controlada na faixa de 1650-1800°C.

 

Usinagem de precisão

O processamento de cerâmicas de nitreto de alumínio precisa levar em consideração as características de alta dureza do material, e atualmente as ferramentas de diamante são usadas principalmente para processamento de precisão.

Processamento Verde:A moldagem preliminar do material antes da sinterização pode reduzir significativamente a dificuldade do processamento subsequente

Polimento de moagem:A retificação de precisão com rebolos diamantados garante uma qualidade de superfície perfeita

Corte a laser:Para chapas finas, a tecnologia laser pode ser usada para processamento preciso

 

Controle de qualidade

O rigoroso controle de qualidade garante que as cerâmicas de nitreto de alumínio produzidas

Para garantir o desempenho estável da cerâmica de nitreto de alumínio, é necessário implementar um controle de qualidade abrangente durante o processo de fabricação:

Controle de processo:Vários pontos de detecção podem ser definidos em processos-chave, como síntese e sinterização, para monitorar parâmetros do processo em tempo real, como:

Monitoramento da curva de temperatura

Controle de componentes da atmosfera

Ajuste de parâmetros de pressão

Inspeção do produto acabado:Avaliação abrangente da qualidade de produtos acabados usando equipamentos de inspeção avançados, como:

Teste de condutividade térmica

Determinação da densidade

Análise de microestrutura

Teste de desempenho mecânico

 


Aplicação de Cerâmicas de Nitreto de Alumínio

 

Indústria Eletrônica

No campo da indústria eletrônica, as cerâmicas de nitreto de alumínio brilham com suas excelentes características de desempenho.

No projeto de substratos de dissipação de calor, a condutividade térmica dos substratos cerâmicos de nitreto de alumínio excede 170 W/mK, muito superior à de outros materiais cerâmicos (como substratos de alumina). Essa excelente condutividade térmica permite que o calor gerado por dispositivos eletrônicos seja rapidamente dispersado e conduzido, prevenindo efetivamente o superaquecimento local e aumentando a estabilidade e a vida útil do equipamento.

Substrato de nitreto de alumínio

 

Em termos de encapsulamento de dispositivos de energia, as cerâmicas de nitreto de alumínio também são particularmente importantes. Se você possui produtos cerâmicos de nitreto de alumínio semelhantes, descobrirá que eles não apenas apresentam excelente desempenho de dissipação de calor, mas também possuem um coeficiente de expansão térmica semelhante ao das pastilhas de silício. Essa combinação reduz significativamente a geração de estresse térmico e pode aumentar significativamente a confiabilidade do encapsulamento cerâmico. Ao mesmo tempo, o excelente isolamento elétrico também garante a operação segura do dispositivo de energia.

 

Indústria de semicondutores

No processo de fabricação de semicondutores, as cerâmicas de nitreto de alumínio desempenham um papel indispensável.

O processo de processamento de wafers exige um controle de temperatura extremamente preciso. A alta condutividade térmica e a uniformidade de temperatura das cerâmicas de nitreto de alumínio garantem a estabilidade do processo de processamento e a qualidade do produto.

O mandril eletrostático é um dispositivo essencial no processo de fabricação de semicondutores. As excelentes propriedades dielétricas e a resistência mecânica da cerâmica de nitreto de alumínio a tornam um material ideal para mandris eletrostáticos. Ela ainda consegue manter propriedades elétricas estáveis em ambientes de alta temperatura e também possui resistência mecânica suficiente para ser usada repetidamente.

Em dispositivos de alta frequência, a baixa perda dielétrica e a capacidade de gerenciamento térmico da cerâmica de nitreto de alumínio a tornam um material de embalagem ideal. Você pode encontrá-la em comunicações por micro-ondas e dispositivos de radiofrequência.

 

Outras aplicações de ponta

Na aplicação de produtos optoeletrônicos, as cerâmicas de nitreto de alumínio não só podem ser usadas como substratos de dissipação de calor para dispositivos a laser, mas também podem ser usadas como camadas dielétricas para mídias de armazenamento óptico.

A indústria aeroespacial é extremamente exigente na seleção de materiais. O nitreto de alumínio é amplamente utilizado em diversos setores importantes, como equipamentos eletrônicos aeroespaciais e comunicações via satélite, devido à sua alta estabilidade térmica, isolamento e excelente resistência mecânica.

No campo militar, o nitreto de alumínio também é muito importante. Dos componentes de dissipação de calor de sistemas de radar aos principais componentes de equipamentos de navegação, a cerâmica de nitreto de alumínio desempenha um papel fundamental. Seu excelente desempenho abrangente garante que equipamentos militares possam ser usados com estabilidade, mesmo em ambientes extremamente adversos.

Na indústria militar, a aplicação de cerâmicas de nitreto de alumínio também é muito importante. Desde os componentes de dissipação de calor de sistemas de radar até os principais componentes de equipamentos de navegação, as cerâmicas de nitreto de alumínio desempenham um papel importante. Seu excelente desempenho abrangente garante a operação confiável de equipamentos militares em ambientes extremos.

 


Como escolher produtos de nitreto de alumínio?

Se você precisa de produtos de nitreto de alumínio, mas não sabe como escolher, o conteúdo a seguir pode ajudar você.

 

Seleção de substrato de nitreto de alumínio

Se você precisar de um substrato de nitreto de alumínio, consulte os seguintes parâmetros principais.

A faixa de espessura padrão do substrato geralmente fica entre 0,25 mm e 2,0 mm, e a área pode atingir 150 mm × 200 mm.

Dependendo dos requisitos da aplicação, você pode escolher diferentes graus de substratos com condutividade térmica variando de 170 W/mK a 230 W/mK.

A rugosidade da superfície é controlada dentro de Ra 0,3-0,5 μm, e a planura é controlada dentro de 2% por milímetro.

Substrato de nitreto de alumínio

 

Para garantir que sua aplicação seja atendida, recomendamos que você se concentre nas seguintes especificações de parâmetros:

Tolerância dimensional: é melhor controlá-la dentro de ± 0,1 mm

Uniformidade de espessura: o desvio padrão não excede 5%

Compatibilidade de metalização: dependendo da sua aplicação, você pode escolher entre diferentes opções de metalização, como tungstênio ou molibdênio

Tratamento de superfície: polimento, jato de areia e outros métodos de tratamento podem ser selecionados de acordo com as necessidades

 

Seleção de componentes de resfriamento

Ao escolher um componente de dissipação de calor adequado, você precisa considerar os requisitos de dissipação de calor e o espaço de instalação. Para aplicações de alta potência, recomendamos que você escolha produtos com condutividade térmica acima de 200 W/mK. Se você tiver requisitos mais altos para dissipação de calor, poderá otimizar a eficiência da condução de calor adicionando pasta térmica ou almofadas térmicas.

 

Sugestões de soluções personalizadas

Recomendamos que você escolha uma solução personalizada com base no seu cenário de aplicação. Os pontos principais aos quais você precisa prestar atenção são:

Esclareça a faixa de temperatura do ambiente de trabalho

Esclarecer os requisitos de densidade de potência máxima

Esclarecer as restrições de espaço de instalação

Esclarecer os requisitos de integração do sistema de refrigeração

Se precisar de ajuda, forneça-nos parâmetros detalhados da aplicação e poderemos personalizar a solução mais otimizada para você, incluindo seleção de material, projeto estrutural e tratamento de superfície, etc. Entre em contato conosco agora.

 

Custo-benefício

Peças cerâmicas de nitreto de alumínio

O custo dos produtos cerâmicos de nitreto de alumínio é afetado principalmente pelos seguintes fatores:

Qualidade do material: quanto maior a condutividade térmica escolhida, maior o custo.

Precisão de processamento: quanto maior o requisito de precisão escolhido, maior o custo de processamento.

Tamanho do lote: se você produzir em grandes quantidades, poderá reduzir significativamente o custo unitário.

Para ajudá-lo a obter a melhor relação custo-benefício, recomendamos:

Aplicações de baixa potência: é recomendável que você escolha um produto padrão de 170 W/mK, que pode atender às suas necessidades básicas e, ao mesmo tempo, controlar custos.

Aplicações de média potência: é recomendável escolher um produto de grau 200 W/mK, que atinge um equilíbrio entre desempenho e custo.

Para aplicações de alta potência, recomenda-se a escolha de produtos com potência de 230 W/mK. Embora seu custo inicial seja mais alto, ele pode proporcionar o melhor desempenho de dissipação de calor e prolongar a vida útil do equipamento, reduzindo efetivamente seus custos operacionais gerais.

 


Conclusão

Cerâmicas de nitreto de alumínio são materiais ideais para diversas indústrias. Agradecemos a leitura e esperamos que este texto possa ajudar.

saber mais.

 


Perguntas frequentes.

1. Qual é a fórmula química do nitreto de alumínio (AlN)?

A fórmula química do nitreto de alumínio é AlN, que é composto por átomos de alumínio (Al) e átomos de nitrogênio (N) em uma proporção estequiométrica de 1:1. Em sua estrutura, o alumínio e o nitrogênio formam uma ligação covalente, e é um composto cristalino estável com estrutura wurtzita.

2. Qual é a condutividade térmica da cerâmica de nitreto de alumínio?

As cerâmicas de nitreto de alumínio apresentam excelente condutividade térmica à temperatura ambiente, cerca de 170-321 W/(m·K), sendo a condutividade térmica máxima teórica de 321 W/(m·K). O AlN policristalino que você encontra no mercado geralmente pode atingir valores acima de 170 W/(m·K), o que é mais de cinco vezes maior que o óxido de alumínio.

3. Quais são as diferenças de desempenho entre nitreto de alumínio e óxido de alumínio (Al₂O₃)?

O nitreto de alumínio supera o óxido de alumínio em vários aspectos importantes de desempenho. A condutividade térmica do AlN (>170 W/m·K) é cinco vezes maior que a do óxido de alumínio (20-30 W/m·K).

O nitreto de alumínio tem melhor resistência ao choque térmico do que o óxido de alumínio e seu coeficiente de expansão térmica é mais adequado ao do silício.

Mas para aplicações onde alta condutividade térmica não é importante, o óxido de alumínio pode ajudar significativamente você a economizar dinheiro.

4. Qual é o ponto de fusão da cerâmica de nitreto de alumínio?

O ponto de fusão do nitreto de alumínio em um gás inerte é de cerca de 2.200 °C. No entanto, é preciso estar ciente de que, em um ambiente de vácuo, o nitreto de alumínio começará a se decompor a 1.800 °C.

No ar, a superfície do nitreto de alumínio começará a oxidar a 700°C, formando uma camada protetora que pode impedir que o material interno permaneça estável antes de 1370°C.

5. Quais são as especificações de espessura padrão para substratos de nitreto de alumínio?

A espessura dos substratos padrão de nitreto de alumínio varia de 0,25 a 2,0 mm. Além disso, as especificações comuns incluem 0,25 mm, 0,38 mm, 0,63 mm e 1,0 mm, e a tolerância dimensional geralmente é controlada em ± 0,1 mm.

Você pode personalizar a espessura de acordo com os requisitos específicos da aplicação, e a rugosidade da superfície é melhor mantida em Ra 0,3-0,5 μm.

6. Qual é a constante dielétrica da cerâmica de nitreto de alumínio?

A constante dielétrica da cerâmica de nitreto de alumínio é de 8,5-9,0 a 1 MHz.

7. Qual é o coeficiente de expansão térmica do nitreto de alumínio que corresponde ao do silício?

O coeficiente de expansão térmica do nitreto de alumínio é muito próximo ao do silício. O coeficiente de expansão térmica do nitreto de alumínio é de 4,5 × 10⁻⁶/°C, enquanto o coeficiente de expansão térmica do silício é de 3,5-4 × 10⁻⁶/°C, o que é muito próximo. Essa correspondência reduz o estresse térmico em aplicações semicondutoras, tornando o nitreto de alumínio um material de substrato ideal para dispositivos à base de silício, o que pode reduzir significativamente o risco de rachaduras durante o ciclo térmico.

8. Quão boas são as propriedades de isolamento da cerâmica de nitreto de alumínio?

As cerâmicas de nitreto de alumínio possuem excelentes propriedades isolantes. À temperatura ambiente, sua resistividade volumétrica excede 10¹⁴ Ω·cm. Além disso, mantém uma alta rigidez dielétrica de 15-20 kV/mm, tornando-se um excelente isolante.

9. Quais são as aplicações típicas dos substratos cerâmicos de nitreto de alumínio?

Substratos cerâmicos de nitreto de alumínio podem ser utilizados em diversas indústrias. Podem ser utilizados na área de eletrônica de potência como substrato de dissipação de calor para módulos IGBT e de alta potência; ou na indústria de LEDs, como materiais de gerenciamento térmico para LEDs de alto brilho; ou em equipamentos de processamento de wafers e componentes de RF/micro-ondas na indústria de semicondutores. Além disso, a aplicação de substratos de nitreto de alumínio também é muito importante em alguns setores aeroespacial e militar.

10. O nitreto de alumínio é um composto iônico ou covalente?

O nitreto de alumínio é um composto covalente. Sua característica é a forte ligação covalente entre os átomos de alumínio e os átomos de nitrogênio. Essa estrutura confere ao nitreto de alumínio alta condutividade térmica e excelente resistência mecânica. No entanto, é importante saber que a diferença óbvia de eletronegatividade entre os átomos de alumínio e os átomos de nitrogênio leva a algumas características polares, embora a ligação geral ainda seja predominantemente covalente.

11. Qual é a resistência mecânica da cerâmica de nitreto de alumínio? 

A cerâmica de nitreto de alumínio demonstra propriedades mecânicas impressionantes, com resistência à flexão de 350-420 MPa e resistência à compressão de aproximadamente 3000 MPa. O material apresenta dureza Vickers de 12 GPa e módulo de Young de 320 GPa. Essas propriedades mecânicas garantem um desempenho confiável em aplicações exigentes, especialmente quando submetidas a ciclos de estresse térmico e mecânico.

12. Quais são as vantagens da cerâmica de nitreto de alumínio em embalagens de LED?

As principais vantagens do nitreto de alumínio são: excelente condutividade térmica, que pode dissipar efetivamente o calor gerado por LEDs de alta potência; o isolamento elétrico pode garantir uma operação segura; e o coeficiente de expansão térmica corresponde ao dos materiais semicondutores para reduzir o estresse térmico.

13. Quais são as vantagens do nitreto de alumínio sobre o óxido de berílio (BeO)?

As propriedades térmicas do nitreto de alumínio são comparáveis às do óxido de berílio, e o nitreto de alumínio é completamente atóxico. O óxido de berílio é altamente tóxico quando processado ou manuseado, portanto, o nitreto de alumínio será mais econômico em aplicações de produção em larga escala.

14. Quais processos de tratamento de superfície estão disponíveis para cerâmica de nitreto de alumínio?

Os processos de tratamento de superfície para cerâmicas de nitreto de alumínio incluem retificação de precisão, polimento de diamante e vários processos de metalurgia.

O acabamento de superfície pode atingir um valor de rugosidade de Ra 0,3-0,5 μm; enquanto a metalização inclui padrões de tungstênio, molibdênio e cobre para conexões elétricas; processos de tratamento especiais incluem melhoria da molhabilidade da superfície, melhoria da adesão de materiais de interface térmica, etc.

 

 

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