Aluminum nitride ceramic robotic arms, also known as aluminum nitride ceramic robotic fingers, wafer trays, or round wafer robotic arms, are mainly used for the transportation and handling of semiconductor equipment, responsible for delivering silicon wafers to designated locations.
Aluminum nitride robotic arms combine high thermal conductivity, excellent electrical insulation, a low coefficient of thermal expansion, and superior dimensional stability, greatly contributing to ensuring precise wafer transport and minimizing particle generation and thermal deformation.
GORGEOUS CERAMICS (GGS) can custom-produce aluminum nitride ceramic robotic arms based on customer-provided drawings and supports semiconductor equipment manufacturers (OEMs), automation integrators, and advanced equipment manufacturers worldwide.
Key Properties of Aluminum Nitride Ceramics
Độ dẫn nhiệt
Aluminum nitride ceramics boast a high thermal conductivity of 170–200 W/m·K, enabling rapid heat dissipation and minimizing temperature gradients during wafer processing.
Cách điện
The electrical insulation properties of aluminum nitride ceramics provide reliable electrical isolation for semiconductor devices operating under high voltage or sensitive process conditions.
Vacuum Compatibility
Aluminum nitride ceramics are ideally suited for vacuum chambers and cleanroom environments due to their low gas release characteristics.
Lightweight and Highly Rigid
Compared to metal robotic arms, aluminum nitride ceramic arms maintain structural integrity while minimizing deformation.
Tham chiếu kích thước tiêu chuẩn của cánh tay gốm/bộ phận tác động cuối
Chọn chiều dài của cánh tay gốm theo wafer:
6-inch wafer (150mm): Arm length: about 200-250mm
8-inch wafer (200mm): Arm length: about 250-300mm
12-inch wafer (300mm): Arm length: about 350-400mm
18-inch wafer (450mm): Arm length: about 500-550mm
Chiều rộng và độ dày của cánh tay gốm
Width: Typically 20-50mm, depending on your wafer size and required arm load capacity.
Thickness: Typically 5-15mm, to ensure adequate strength and rigidity and reduce weight.
Thiết kế đầu cánh tay
Fork design: commonly used for handling wafers, the width and spacing of the forks match the slots of the wafer box
Vacuum suction cup design: can directly absorb the wafer, the common suction cup size is 10-20mm
Edge clamping design: used for special processes, the clamping area width is 5-10mm
Applications of ceramic arms
Trong quá trình sản xuất chip, các tấm silicon cần được chuyển qua các bước xử lý khác nhau (như in thạch bản, khắc, lắng đọng, v.v.) và cánh tay gốm có thể hoạt động như bộ phận xử lý trong môi trường không bụi.
Cánh tay gốm sản xuất điện tử phù hợp cho các quy trình đòi hỏi độ sạch cao như phủ chân không, sản xuất chip và sản xuất màn hình OLED. Chúng có thể tránh được ảnh hưởng của sự giãn nở nhiệt của vật liệu kim loại và cải thiện độ ổn định.
Trong các thiết bị phòng thí nghiệm đòi hỏi khả năng chống ăn mòn và môi trường nhiệt độ cao, cánh tay gốm có thể được sử dụng trong các lĩnh vực như tổng hợp hóa học, thí nghiệm plasma và nghiên cứu siêu dẫn.
Vật liệu gốm không chứa kết tủa ion kim loại và phù hợp với các lĩnh vực như chế biến thực phẩm và đóng gói dược phẩm đòi hỏi độ sạch của vật liệu cực kỳ cao.
Câu hỏi thường gặp
What is an aluminum nitride ceramic robotic arm?
An aluminum nitride ceramic robotic arm is a type of precision ceramic component widely used in semiconductor and automation equipment for wafer handling and material transfer.
Why choose aluminum nitride over metal robotic arms?
Because aluminum nitride ceramics have high thermal conductivity, excellent electrical insulation, and dimensional stability.
Can GORGEOUS CERAMICS (GGS) manufacture robotic arms according to customer drawings?
Yes, we can provide customized services based on customer specifications and CAD drawings.
