PRACHTIGE ALN-verwarmer Expert in warmteafvoer bij waferverwerking
ALN-verwarmer is een van onze aanbevolen producten, het beste van twee werelden combineren: keramiek en metaal. Dit innovatieve ontwerp, bereikt door metallisatie, maakt het de perfecte oplossing voor uw verschillende halfgeleider- en elektronische apparatuurproductie behoeften.
Wij maken gebruik van hoogwaardig aluminium nitride materiaal om de ALN Heater te voorzien van een uitzonderlijke thermische uniformiteit en corrosiebestendigheid, waardoor het ideaal geschikt is voor waferverwerking. Aanvullend, wij bieden op maat gemaakte diensten om tegemoet te komen aan uw uiteenlopende behoeften, jou helpen de productie- en verwerkingsefficiëntie verbeteren terwijl u de kwaliteit van uw producten verbetert.
Ontdek de kenmerken van de ALN-verwarmer:
- Uitstekende uniformiteit van het temperatuurveld:
Onze ALN-kachel is gemaakt van aluminium nitride materiaal met hoge thermische geleidbaarheid, zorgt voor een uitzonderlijke uniformiteit van het temperatuurveld over een breed temperatuurbereik (tot 790 graden Celsius). Dit vertaalt zich in een consistente temperatuur tijdens de waferverwerking, wat uiteindelijk leidt tot een verbetering van de productopbrengst en de productiesnelheid.
- Ruimtebesparend ontwerp:
Door het co-sinteren van het weerstandsverwarmingselement en de blok-RF-elektrode binnen de ALN-keramiek, realiseren we een compact en efficiënt ontwerp voor de ALN Heater. Dit verkleint niet alleen de totale omvang van uw apparatuur, maar verbetert ook de verwarmingsefficiëntie en de warmteoverdrachtssnelheid. waardoor kostbare productieruimte bespaard blijft.
- Uitstekende corrosiebestendigheid:
De aluminium nitride keramische verwarmingselementen biedt een uitstekende weerstand tegen corrosie veroorzaakt door halogeengas en oxiderende omgevingen. Hierdoor kan het een langdurige stabiliteit behouden bij hoge temperaturen en continue werking, Verleng de levensduur van uw apparatuur en verlaag de kosten voor routinematig gebruik en onderhoud.
- Ontwerp in behandeling: klemfunctie voor wafers:
Door het sinteren van de RF-elektrode met de keramische plaat, De ALN Heater integreert de functionaliteit van een elektrostatische klemelektrode voor het klemmen van wafers. Deze functie vereenvoudigt uw productieproces, wat leidt tot een verbeterde productiesnelheid en -efficiëntie – een zeer gewaardeerd voordeel bij waferverwerking.
- Oplossingen op maat:
Wij begrijpen dat elk productieproces unieke vereisten heeft. Daarom bieden wij op maat gemaakte ALN Heater-oplossingen om aan uw uiteenlopende behoeften te voldoen. Of het nu om de grootte gaat, stroomvereisten, of elektrodeconfiguratie, Wij kunnen het product zodanig aanpassen dat het perfect aansluit op uw specifieke productieproces.
ALN-materiaal Eigenschappen Gegevens:
De volgende tabel vat de belangrijkste eigenschappen van AlN-materiaal samen:
| Naam | Zuiverheid [%] | Dichtheid [g/cm³] | Volumeweerstand [Ωcm] (kamertemperatuur) | Thermische geleidbaarheid [W/m·K] (kamertemperatuur) | Thermische uitzettingscoëfficiënt (1000℃) | Sterkte [MPa] (kamertemperatuur) | Young's modulus [GPa] (kamertemperatuur) | Diëlektrische constante (13,56 MHz, relais) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlN/Aluminium Nitride | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
| AlN/Aluminium Nitride | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
| AlN/Aluminium Nitride | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
Ervaar het SCHITTERENDE verschil:
Bij GORGEOUS, Wij streven ernaar om innovatieve en hoogwaardige oplossingen te bieden voor uw productiebehoeften op het gebied van halfgeleiders en elektronische apparatuur. Neem vandaag nog contact op met GORGEOUS om uw specifieke vereisten te bespreken en meer te weten te komen over hoe de aluminium nitride keramische verwarmingselementen de efficiëntie van uw waferverwerking radicaal kunnen verbeteren.
- Ontdek onze op maat gemaakte ALN Heater-oplossingen: [Neem contact op met GORGEOUS voor een offerte]
- Ontdek meer over GORGEOUS en onze toewijding aan uitmuntendheid: [https://ggsceramic.com]
