特別なサイズと形状のカスタマイズを提供し、バッチの色の違いを解決するセラミックアームプロバイダーに尽力しています！
セラミックアーム/セラミックエンドエフェクタサプライヤー
陶器をカスタマイズ
セラミックアームの説明
セラミックロボットアーム、別名 セラミック製ロボット指, ウエハーストレイ, 丸型ウエハロボットアーム等は、主に半導体装置の輸送やハンドリングに使用され、シリコンウエハーを指定された場所まで配送する役割を担っています。
ゴージャスな製品の特徴：
▫️高い製品精度
▫️優れた気密性
▫️優れた耐高温性
▫️表面抵抗を制御可能
▫️強力な耐酸性、耐アルカリ性、耐腐食性を備え、さまざまな極端に過酷な環境に適応できます。
🔷自己気密性テスト： 真空空気源をオフにして、負圧 –85Kpa に -80Kpa、以上 60年代
🔷ウェーハ吸着試験： 真空空気源をオフにして、負圧 -80Kpa に -25Kpa、以上 35秒
製造と配送時間の保証
GORGEOUSは半導体ウェハ処理用セラミックスの大手メーカーです。 15 当社は、先端セラミックスの製造において長年の技術と経験を有し、半導体セラミックスの製造プロセスを常に最適化・向上させています。セラミックアーム、ロボットエンドエフェクタ、セラミックウェーハチャックなど、様々な部品をお客様のニーズに合わせてカスタマイズいたします。
セラミックアームの梱包は、お客様のニーズに応じて、硬質の環境に優しい素材を使用したり、柔らかいフォーム保護を使用したりすることができます。
当社の陶磁器は世界中に出荷されており、お客様の所在地によって輸送状況が異なります。お客様のご計画に沿って迅速に製造し、最適な輸送方法を選択いたします。 北米最速の航空貨物、7日で到着します。
GORGEOUS は、以下を含む大手物流会社と提携しています。
- MSC（地中海海運会社）
- マールスク
- CMA CGM
- コスコ
- ハパグロイド
- DHL
- UPS
- フェデックス
- TNT
当社は複数の貨物運送業者と提携し、より低価格で効率的な配送オプションを保証します。 時間通りの配達、 そして 隠れた料金はありません!
製造業
パッキング
読み込み中
交通機関
セラミックアーム/セラミックエンドエフェクタの主な性能
軽量
耐摩耗性
耐腐食性
耐高温性
強力な断熱材
ゴージャスなカスタマイズ可能な製品精度リファレンス
| 最小 | 最大 | |
| 全体の厚さ | 1.5mm | 4mm |
| キャビティの厚さ | 0.5mm | 0.7mm |
| 空洞と表面の間の隙間の厚さ | 0.5mm | – |
| キャビティの幅 | 2mm | 6mm |
| エッジからの距離制限 | 2mm | – |
| 吸着細孔サイズ | 0.5mm | – |
| ボイド長 | – | 360mm |
※具体的な精度は、実際の製品の材質、形状、プロセス要件に応じて決定する必要があります。
各種半導体セラミックアームのカスタマイズ
カスタマイズされたアーム材料パラメータと選択
| アイテム | ユニット | ジルコニア |
| 密度 | g/cm3 | 6.0 |
| ジルコニア含有量 | % | 94.4% |
| 粒度 | µm | 0.5 |
| ロックウェル硬度（45N） | R45N | 78 |
| ビッカース硬度（荷重500g） | GPa（kg/mm2 ） | 11.5（1175） |
| 曲げ強度（20℃） | MPa | 800 |
| 圧縮強度（20℃） | MPa | 2000 |
| 破壊靭性（20℃） | MPam1/2 | 9.0 |
| 熱伝導率（20℃～400℃） | W /（mk） | 2.5 |
| 熱膨張係数 | 10-6 /℃ | 9.6 |
| 耐熱衝撃性 | △T℃ | 250 |
| 財産 | ユニット | アル2お3 99.7 | アル2お3 99.5 | アル2お3 99 | アル2お3 95 |
| 純度 | — | 99.7% | 99.5% | 99% | 95% |
| 密度 | g/cm3 | 3.92 | 3.9 | 3.8 | 3.7 |
| 曲げ強度 | MPa | 375 | 370 | 340 | 304 |
| 圧縮強度 | MPa | 2450 | 2300 | 2250 | 1910 |
| 弾性係数 | GPa | 380 | 370 | 330 | 330 |
| 破壊靭性 | MPam1/2 | 4.5 | 4.3 | 4.2 | 3.8 |
| 硬度 | HRA | 91 | 91 | 90 | 89 |
| ビッカース硬度 | HV1 | 1600 | 1550 | 1450 | 1400 |
| 熱膨張係数 | 10- 6 K-1 | 7.8 | 7.8 | 7.7 | 7.5 |
| 熱伝導率 | W/mk | 32 | 32 | 25 | 25 |
| 熱衝撃安定性 | △T.℃ | 220 | 220 | 200 | 200 |
| 最大動作温度 | ℃ | 1750 | 1750 | 1700 | 1500 |
| 20℃における体積抵抗 | Ω·cm | 1015 | 1015 | 1014 | 1014 |
| 絶縁強度 | KV/mm | 22 | 20 | 16 | 15 |
| 誘電率（室温） | / | 10 | 11 | 11.5 | 11 |
| MHz誘電損失係数 | tan δ | 1×10-3 | 1×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| アイテム | ユニット | 窒化シリコン |
| 密度 | g/cm3 | ＞3.2 |
| 硬度 | – | HRA90 |
| ビッカース硬度（Hv50） | HV0.5 | ＞1550 |
| 弾性係数 | GPa | 290 |
| 曲げ強度 | MPa | ＞600 |
| 圧縮強度 | MPa | 2500 |
| 破壊靭性 | MPam1/2 | ＞6.0 |
| 最高使用温度 | ℃ | 1200 |
| 熱伝導率 | W /（M·K） | 15-20 |
| 熱膨張係数 | 10-6/℃ | ＞3.1 |
| 耐熱衝撃性 | △T℃ | 500 |
| 比熱容量 | KJ/kg·K | 700 |
| 絶縁強度 | KV/mm | 1 |
| 誘電率 | εr | – |
| 20℃における体積抵抗率 | Ω.cm | 1.0×1012 |
セラミックアーム/エンドエフェクタ標準サイズリファレンス
セラミックアーム/エンドエフェクタ 半導体製造におけるウェハハンドリングに用いられる主要部品です。ウェハサイズ、装置の種類、プロセス要件に合わせてカスタマイズ可能です。ご参考までに、セラミックアームの一般的な標準サイズをご紹介します。
ウェーハに応じてセラミックアームの長さを選択します。
❇️6インチウエハ（150mm）: 腕の長さ: 約 200～250mm
❇️8インチウエハ（200mm）: 腕の長さ: 約 250～300mm
❇️12インチウエハ（300mm）: 腕の長さ: 約 350～400mm
❇️18インチウエハ（450mm）: 腕の長さ: 約 500～550mm
セラミックアームの幅と厚さ
❇️幅： 通常 20-50mmウェーハサイズと必要なアームの負荷容量に応じて異なります。
❇️厚さ: 通常 5～15mm十分な強度と剛性を確保し、重量を軽減します。
アームエンドデザイン
❇️フォークデザイン：ウエハースの取り扱いに一般的に使用され、フォークの幅と間隔はウエハースボックスのスロットと一致します。
❇️真空吸引カップ設計：ウェーハを直接吸収することができ、一般的な吸引カップのサイズは 10～20mm
❇️エッジクランプ設計：特殊なプロセスに使用され、クランプ領域の幅は 5～10mm
セラミックアームの用途は何ですか?
産業用ロボットアーム
セラミックアームは、高精度、耐摩耗性、耐腐食性に優れた産業用ロボットに使用され、一部の精密加工や高温環境でも安定して動作します。
半導体製造
チップ製造プロセスでは、シリコン ウェハをさまざまなプロセス ステップ (リソグラフィー、エッチング、堆積など) 間で転送する必要があり、セラミック アームは、ほこりのない環境でのハンドリング マニピュレーターとして機能します。
電子機器製造
電子機器製造用セラミックアームは、真空コーティング、チップ製造、OLEDディスプレイ製造など、高い清浄度が求められるプロセスに適しています。金属材料の熱膨張の影響を回避し、安定性を向上させます。
科学研究
耐腐食性や高温環境への耐性が求められる実験装置では、化学合成、プラズマ実験、超伝導研究などの分野でセラミックアームが活用されています。
食品・医薬品業界
セラミック材料には金属イオンの沈殿が含まれず、非常に高い材料清浄度が要求される食品加工や医薬品包装などの分野に適しています。
ワンストップセラミックアーム製造サービス
15+ 長年の経験。高精度とOEM設計。プロフェッショナルな研究開発チーム。競争力のある価格。
パス成功例 お客様の声
セラミックアーム/セラミックエンドエフェクタは時間の経過とともに摩耗しますか?
はい、セラミックアームは時間の経過とともに摩耗します。特に過酷な環境では摩耗が顕著です。しかし、あまりご心配なく。セラミックは非常に硬く耐久性のある素材なので、適切なメンテナンスを行えば長年お使いいただけます。
セラミックアームが壊れる原因は何でしょうか?
急激な温度変化は熱衝撃を引き起こし、セラミックアームの破損につながる可能性があります。また、定格容量を超える過負荷、衝突、または強い衝撃も破裂の原因となる可能性があります。
セラミックアームはどのくらいの頻度でチェックすべきですか?
毎週の頻繁な点検により、問題を早期に発見できます。セラミックアームは長期間使用すると摩耗、ひび割れ、緩みが生じる可能性があります。定期的なメンテナンスをお勧めします。
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