Aquecedor GORGEOUS ALN Especialista em dissipação de calor em processamento de wafers
Aquecedor ALN é um dos nossos produtos em destaque, combinando o melhor dos dois mundos: cerâmica e metal. Este design inovador, alcançado através de metalização, torna a solução perfeita para seus diversos fabricação de semicondutores e equipamentos eletrônicos precisa.
Nós utilizamos material de nitreto de alumínio de alto desempenho para dotar o aquecedor ALN de uniformidade térmica excepcional e resistência à corrosão, tornando-o idealmente adequado para processamento de wafers. Adicionalmente, nós oferecemos serviços personalizados para atender às suas diversas necessidades, ajudando você melhorar a eficiência da produção e do processamento ao mesmo tempo em que melhora a qualidade dos seus produtos.
Revelando os recursos do aquecedor ALN:
- Excelente uniformidade de campo de temperatura:
Nosso aquecedor ALN é feito de material de nitreto de alumínio de alta condutividade térmica, garantindo uniformidade excepcional do campo de temperatura em uma ampla faixa de temperatura (até 790 graus Celsius). Isso se traduz em temperatura consistente durante o processamento do wafer, melhorando, em última análise, o rendimento do produto e a velocidade do processamento da produção.
- Design que economiza espaço:
Através co-sinterização do elemento de aquecimento de resistência e do eletrodo de RF do bloco dentro da cerâmica ALN, alcançamos um design compacto e eficiente para o aquecedor ALN. Isso não só reduz o tamanho geral do seu equipamento, mas também melhora a eficiência do aquecimento e a velocidade de transferência de calor, economizando espaço valioso de produção.
- Excelente resistência à corrosão:
O aquecedores cerâmicos de nitreto de alumínio apresenta excelente resistência à corrosão causada por gás halogênio e ambientes oxidantes. Isso permite manter a estabilidade de longo prazo em configurações de alta temperatura e operação contínua, prolongando a vida útil do seu equipamento e reduzindo o custo de operação e manutenção de rotina.
- Função de fixação pendente de projeto para wafers:
Ao sinterizar o eletrodo de RF com a placa de cerâmica, o aquecedor ALN integra a funcionalidade de um eletrodo de mandril eletrostático para fixação de wafers. Este recurso simplifica seu processo de produção, levando a uma maior velocidade e eficiência de produção – um benefício altamente valorizado no processamento de wafers.
- Soluções personalizadas:
Entendemos que cada processo de produção tem requisitos únicos. É por isso que fornecemos soluções personalizadas de aquecedores ALN para atender às suas diversas necessidades. Seja o tamanho, requisitos de energia, ou configuração do eletrodo, podemos adaptar o produto para integrá-lo perfeitamente ao seu processo de produção específico.
Material ALN Dados de propriedades:
A tabela a seguir resume as principais propriedades do material AlN:
| Nome | Pureza [%] | Densidade [g/cm³] | Resistividade volumétrica [Ωcm] (temperatura ambiente) | Condutividade térmica [W/m·K] (temperatura ambiente) | Coeficiente de expansão térmica (1000℃) | Força [MPa] (Temp. ambiente) | Módulo de Young [GPa] (Temp. Ambiente) | Constante Dielétrica (13,56 MHz, Relé) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlN/Nitreto de Alumínio | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
| AlN/Nitreto de Alumínio | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
| AlN/Nitreto de Alumínio | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
Experimente a MARAVILHOSA diferença:
Na GORGEOUS, Estamos comprometidos em fornecer soluções inovadoras e de alto desempenho para suas necessidades de fabricação de semicondutores e equipamentos eletrônicos. Entre em contato com a GORGEOUS hoje mesmo para discutir suas necessidades específicas e saber mais sobre como os aquecedores cerâmicos de nitreto de alumínio podem revolucionar sua eficiência de processamento de wafers.
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