致力于为您提供特殊尺寸形状定制及解决批量色差陶瓷臂提供商！
陶瓷臂/陶瓷末端执行器供应商
定制您的陶瓷
陶瓷臂描述
陶瓷机械臂，也称为 陶瓷机器人手指, 晶圆托盘, 圆形晶圆机械臂等主要用于半导体设备的运输和搬运，负责将晶圆硅片运送到指定地点。
GORGEOUS产品特点：
▫️产品精度高
▫️气密性极佳
▫️耐高温性能好
▫️可控表面电阻率
▫️耐强酸碱、耐腐蚀，适应各种极端恶劣环境
🔷自紧性测试： 关闭真空气源，负压 –85千帕 到 -80千帕，超过 60年代
🔷晶圆吸附测试： 关闭真空气源，负压 -80千帕 到 -25千帕，超过 35秒
保证制造和运输时间
GORGEOUS 是半导体晶圆加工陶瓷领域的领先制造商。我们 15 我们拥有多年先进陶瓷制造技术和经验，并不断优化和升级半导体陶瓷的制造工艺。我们可以为您定制各种组件，例如陶瓷手臂、机器人末端执行器、陶瓷晶圆卡盘等。
陶瓷臂的包装可以根据您的需要，采用硬质环保材料或者软质泡沫保护。
我们的陶瓷产品销往世界各地，陶瓷的运输受您所在位置的影响。我们将根据您的计划，选择最佳的运输方式，快速为您生产。 北美最快空运，7天到达。
GORGEOUS选择与多家领先的物流公司合作，其中包括：
- MSC（地中海航运公司）
- 马士基
- 达飞海运集团
- 中远集团
- 赫伯罗特
- DHL
- UPS
- 联邦快递
- TNT
我们与多家货运代理商合作，以保证您以较低的价格获得高效的运输选择， 准时交货， 和 没有隐藏费用！
制造业
包装
加载中
运输
陶瓷臂/陶瓷末端执行器的主要性能
轻的
耐磨
耐腐蚀
耐高温
强绝缘
华丽的可定制产品精度参考
| 最低限度 | 最大限度 | |
| 总厚度 | 1.5毫米 | 4毫米 |
| 腔体厚度 | 0.5毫米 | 0.7毫米 |
| 型腔与表面间隙厚度 | 0.5毫米 | – |
| 腔体宽度 | 2毫米 | 6毫米 |
| 距边的距离限制 | 2毫米 | – |
| 吸附孔径 | 0.5毫米 | – |
| 空隙长度 | – | 360毫米 |
*具体精度需根据实际产品材质、形状、工艺要求确定。
定制各类半导体陶瓷臂
定制臂材料参数及选择
| 物品 | 单元 | 氧化锆 |
| 密度 | 克/厘米3 | 6.0 |
| 氧化锆含量 | % | 94.4% |
| 粒度 | 微米 | 0.5 |
| 洛氏硬度（45N） | R45N | 78 |
| 维氏硬度（荷重500g） | 千帕（公斤/毫米）2 ） | 11.5（1175） |
| 弯曲强度（20℃） | 兆帕 | 800 |
| 抗压强度（20℃） | 兆帕 | 2000 |
| 断裂韧性（20℃） | 兆帕姆1/2 | 9.0 |
| 热导率（20℃-400℃） | 瓦/（米） | 2.5 |
| 热膨胀系数 | 10-6 /℃ | 9.6 |
| 抗热震性 | △T℃ | 250 |
| 财产 | 单元 | 铝2哦3 99.7 | 铝2哦3 99.5 | 铝2哦3 99 | 铝2哦3 95 |
| 纯度 | — | 99.7% | 99.5% | 99% | 95% |
| 密度 | 克/厘米3 | 3.92 | 3.9 | 3.8 | 3.7 |
| 弯曲强度 | 兆帕 | 375 | 370 | 340 | 304 |
| 抗压强度 | 兆帕 | 2450 | 2300 | 2250 | 1910 |
| 弹性模量 | 千兆帕 | 380 | 370 | 330 | 330 |
| 断裂韧性 | 兆帕姆1/2 | 4.5 | 4.3 | 4.2 | 3.8 |
| 硬度 | 人力资源管理局 | 91 | 91 | 90 | 89 |
| 维氏硬度 | HV1 | 1600 | 1550 | 1450 | 1400 |
| 热膨胀系数 | 10- 6 钾-1 | 7.8 | 7.8 | 7.7 | 7.5 |
| 热导率 | 瓦/立方厘米 | 32 | 32 | 25 | 25 |
| 热冲击稳定性 | △T.℃ | 220 | 220 | 200 | 200 |
| 最高工作温度 | ℃ | 1750 | 1750 | 1700 | 1500 |
| 20℃体积电阻 | Ω·厘米 | 1015 | 1015 | 1014 | 1014 |
| 介电强度 | 千伏/毫米 | 22 | 20 | 16 | 15 |
| 介电常数（室温） | / | 10 | 11 | 11.5 | 11 |
| MHz 介电损耗因数 | tanδ | 1×10-3 | 1×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| 物品 | 单元 | 氮化硅 |
| 密度 | 克/厘米3 | ＞3.2 |
| 硬度 | – | HRA90 |
| 维氏硬度（Hv50） | HV0.5 | ＞1550 |
| 弹性模量 | 千兆帕 | 290 |
| 抗弯强度 | 兆帕 | ＞600 |
| 抗压强度 | 兆帕 | 2500 |
| 断裂韧性 | 兆帕姆1/2 | ＞6.0 |
| 最高使用温度 | ℃ | 1200 |
| 热导率 | 宽/（米·克） | 15-20 |
| 热膨胀系数 | 10-6/℃ | ＞3.1 |
| 抗热震性 | △T℃ | 500 |
| 比热容 | 千焦/千克·开尔文 | 700 |
| 介电强度 | 千伏/毫米 | 1 |
| 介电常数 | εr | – |
| 20℃体积电阻率 | Ω.cm | 1.0×1012 |
陶瓷臂/末端执行器标准尺寸参考
陶瓷臂/末端执行器 陶瓷臂是半导体制造过程中用于搬运晶圆的关键部件。我们可以根据晶圆尺寸、设备类型和工艺要求进行定制。以下是一些常见的陶瓷臂标准尺寸，供您参考！
根据晶圆选择陶瓷臂的长度：
❇️6英寸晶圆（150毫米）：臂长：约 200-250毫米
❇️8英寸晶圆（200毫米）：臂长：约 250-300毫米
❇️12英寸晶圆（300毫米）：臂长：约 350-400毫米
❇️18英寸晶圆（450毫米）：臂长：约 500-550毫米
陶瓷臂宽度和厚度
❇️宽度： 通常 20-50毫米，取决于您的晶圆尺寸和所需的臂负载能力。
❇️厚度： 通常 5-15毫米，以保证足够的强度和刚度并减轻重量。
臂端设计
❇️叉子设计：常用于搬运晶圆，叉子的宽度和间距与晶圆盒的槽口相匹配
❇️真空吸盘设计：可直接吸附晶圆，常用吸盘尺寸为 10-20毫米
❇️边缘夹紧设计：用于特殊工艺，夹紧区域宽度为 5-10毫米
陶瓷臂有什么用途？
工业机械臂
陶瓷手臂应用于高精度、耐磨、耐腐蚀的工业机器人，可以在一些精密加工和高温环境下稳定工作。
半导体制造
在芯片制造过程中，硅片需要在不同的工艺步骤（如光刻、刻蚀、沉积等）之间进行转移，陶瓷臂可以在无尘环境中充当搬运机械手。
电子制造业
电子制造陶瓷臂适用于真空镀膜、芯片制造、OLED显示屏制造等对洁净度要求较高的工艺，可避免金属材料热膨胀的影响，提高稳定性。
科学研究
在需要耐腐蚀和高温环境的实验室设备中，陶瓷臂可用于化学合成、等离子体实验和超导研究等领域。
食品和制药行业
陶瓷材料不含金属离子析出，适用于食品加工、医药包装等对材料洁净度要求极高的领域。
一站式陶瓷臂制造服务
15+ 多年经验。高精度及OEM设计。专业的研发团队。极具竞争力的价格。
我们的通行证成功 评价
陶瓷臂/陶瓷末端执行器会随着时间的推移而磨损吗？
是的，陶瓷臂会随着时间的推移而磨损，尤其是在恶劣恶劣的环境中。但不必太担心，陶瓷是一种非常坚硬耐用的材料，只要保养得当，就可以使用很多年。
什么原因会导致陶瓷臂断裂？
温度的急剧变化会引起热冲击，导致陶瓷臂断裂。超载、碰撞或超出额定承载能力的剧烈冲击也会导致破裂。
您应该多久检查一次陶瓷臂？
每周定期检查，可及早发现问题。长期使用后，陶瓷臂可能会磨损、破裂或松动。我们建议您定期进行维护。
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