华丽的氮化铝加热器 晶圆加工散热专家
氮化铝加热器 是我们的特色产品之一， 结合两全其美的优势： 陶瓷和金属. 这种创新的设计， 通过实现 金属化, 使其成为您各种 半导体和电子设备制造 需求。
我们利用 高性能氮化铝材料 使 ALN 加热器具有出色的热均匀性和耐腐蚀性， 非常适合 晶圆加工. 此外， 我们提供 定制服务 满足您多样化的需求， 帮助你 提高生产加工效率 同时提高产品质量。
ALN加热器特点揭秘：
- 出色的温度场均匀性：
我们的 ALN 加热器采用 高导热氮化铝材料, 确保在很宽的温度范围内（高达 790 摄氏度）具有出色的温度场均匀性。 这意味着晶圆加工过程中的温度保持一致， 最终提高产品产量和生产加工速度。
- 节省空间的设计：
通过 电阻加热元件和块状射频电极共烧结 在 ALN 陶瓷中， 我们实现了 ALN 加热器的紧凑而高效的设计。 这不仅减少了设备的整体尺寸，而且还提高了加热效率和传热速度， 节省宝贵的生产空间。
- 优异的耐腐蚀性：
这 氮化铝陶瓷加热器 具有出色的抗卤素气体和氧化环境腐蚀的能力。 这使得它能够在高温和连续运行环境中保持长期稳定性， 延长设备的使用寿命并降低日常操作和维护的成本。
- 设计晶圆的待处理夹紧功能：
通过将射频电极与陶瓷板烧结， ALN 加热器集成了 用于晶圆夹持的静电吸盘电极. 此功能简化了您的生产流程， 从而提高生产速度和效率——这是晶圆加工中非常有价值的优势。
- 定制解决方案：
我们了解每个生产过程都有独特的要求。 这就是我们提供的原因 定制化ALN加热器解决方案 满足您的多样化需求。 无论是尺寸， 电力需求， 或电极配置， 我们可以定制产品以完美地融入您的特定生产流程。
氮化铝材料 属性数据：
下表总结了AlN材料的关键特性：
| 姓名 | 纯度[%] | 密度[克/立方厘米] | 体积电阻率 [Ωcm]（室温） | 热导率[W/m·K]（室温） | 热膨胀系数（1000℃） | 强度[MPa]（室温） | 杨氏模量 [GPa]（室温） | 介电常数（13.56MHz，继电器） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlN/氮化铝 | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
| AlN/氮化铝 | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
| AlN/氮化铝 | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
体验华丽的不同：
在 GORGEOUS， 我们致力于为您的半导体和电子设备制造需求提供创新和高性能的解决方案。 立即联系 GORGEOUS 讨论您的具体要求并了解更多有关氮化铝陶瓷加热器如何彻底改变您的晶圆处理效率的信息。
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