Wij zijn toegewijd aan het leveren van maatwerk op maat en vorm en het oplossen van batch-kleurverschillen tussen keramische armen!

Leverancier van keramische arm/keramische eind-effector

Personaliseer uw keramiek

Beschrijving van de keramische arm

Keramische robotarmen, ook bekend als keramische robotvingers, wafer trays, ronde wafer robotarmen, enz., worden hoofdzakelijk gebruikt voor het transport en de verwerking van halfgeleiderapparatuur en zijn verantwoordelijk voor het leveren van siliciumwafers op de aangewezen locaties.

PRACHTIGE producteigenschappen:

▫️Hoge productprecisie

▫️Uitstekende luchtdichtheid

▫️Goede bestendigheid tegen hoge temperaturen

▫️Regelbare oppervlakteweerstand

▫️Sterke zuur- en alkalibestendigheid en corrosiebestendigheid, aanpasbaar aan verschillende extreme zware omgevingen

🔷Zelfdichtheidstest: Schakel de vacuümluchtbron uit, negatieve druk 85Kpa naar -80Kpa, al meer dan jaren 60

🔷Wafer-adsorptietest: Schakel de vacuümluchtbron uit, negatieve druk -80Kpa naar -25Kpa, al meer dan 35s

Garantie productie- en verzendtijd

GORGEOUS is een toonaangevende fabrikant van keramiek voor de verwerking van halfgeleiderwafers. We hebben 15 Jarenlange technologie en ervaring in de productie van geavanceerde keramiek, en we optimaliseren en upgraden voortdurend het productieproces van halfgeleiderkeramiek. We kunnen diverse componenten voor u op maat maken, zoals keramische armen, robot-eindeffectoren, keramische waferklauwen, enzovoort.

De verpakking van de keramische arm kan naar uw wensen worden aangepast, bijvoorbeeld met harde, milieuvriendelijke materialen of met zachte schuimbescherming.

Onze keramiek wordt wereldwijd verzonden en de transportkosten zijn afhankelijk van uw locatie. We produceren snel en volgens uw plan en kiezen de beste transportmethode. De snelste luchtvracht in Noord-Amerika arriveert binnen 7 dagen.

GORGEOUS werkt samen met verschillende toonaangevende logistieke bedrijven, waaronder:

  • MSC (Mediterrane Scheepvaartmaatschappij)
  • Maersk
  • CMA CGM
  • COSCO
  • Hapag-Lloyd
  • DHL
  • UPS
  • FedEx
  • TNT

Wij werken samen met meerdere expediteurs om u efficiënte verzendopties tegen lagere prijzen te garanderen, tijdige levering, En geen verborgen kosten!

Productie

Verpakking

Bezig met laden

Vervoer

Belangrijkste prestaties van keramische arm/keramische eind-effector

Lichtgewicht

Slijtvast

Corrosiebestendig

Hoge temperatuurbestendigheid

Sterke isolatie

PRACHTIGE Aanpasbare productnauwkeurigheidsreferentie

Minimum Maximaal
Totale dikte 1,5 mm 4 mm
Holtedikte 0,5 mm 0,7 mm
Dikte van de opening tussen de holte en het oppervlak 0,5 mm
Breedte van de holte 2 mm 6 mm
Afstandslimiet vanaf de rand 2 mm
Adsorptieporiegrootte 0,5 mm
Lege lengte 360 mm

*De specifieke nauwkeurigheid moet worden bepaald op basis van het daadwerkelijke productmateriaal, de vorm en de procesvereisten.

Keramische arm voor halfgeleiderapparatuur

Pas verschillende soorten keramische halfgeleiderarmen aan

                        Robotische halfgeleiderapparatuur/keramische robotwaferbehandeling/vinger-eindeffector voor de behandeling          Robotische halfgeleiderapparatuur/keramische robotwaferbehandeling/vinger-eindeffector voor de behandeling          Robotische halfgeleiderapparatuur/keramische robotwaferbehandeling/vinger-eindeffector voor de behandeling

                        Keramische robotarm/halfgeleiderwaferapparatuur/transportarm          Keramische robotarm/halfgeleiderwaferapparatuur/transportarm          Keramische robotarm/halfgeleiderwaferapparatuur/transportarm2

                        Halfgeleider keramische arm          Halfgeleider keramische vork          Halfgeleider keramische vork

                        Detail van het keramische armuiteinde1          Detail van het keramische armuiteinde2          Detail van het keramische armuiteinde3

Aangepaste armmateriaalparameters en selectie

Tekening van keramische arm
Item Eenheid Zirkonia
Dikte g/cm3 6.0
Zirkonia-gehalte % 94.4%
Korrelgrootte µm 0.5
Rockwell-hardheid (45N) R45N 78
Vickers-hardheid (lading 500 g) GPa (kg/mm)2    11,5 (1175)
Buigsterkte (20℃) MPa 800
Druksterkte (20℃) MPa 2000
Breuktaaiheid (20℃) MPam1/2 9.0
Thermische geleidbaarheid (20℃-400℃) W / (mk) 2.5
Coëfficiënt van thermische uitzetting 10-6   /℃ 9.6
Thermische schokbestendigheid △T℃ 250

 

Eigendom Eenheid AL2O3 99.7 AL2O3 99.5 AL2O3 99 AL2O3 95
Zuiverheid 99.7% 99.5% 99% 95%
Dikte g/cm3 3.92 3.9 3.8 3.7
Buigsterkte MPa 375 370 340 304
Druksterkte MPa 2450 2300 2250 1910
Elastische modulus GPa 380 370 330 330
Breuktaaiheid MPam1/2 4.5 4.3 4.2 3.8
Hardheid HRA 91 91 90 89
Vickers-hardheid HV1 1600 1550 1450 1400
Thermische uitzettingscoëfficiënt 10- 6    K-1 7.8 7.8 7.7 7.5
Thermische geleidbaarheid W/mk 32 32 25 25
Thermische schokstabiliteit △T.℃ 220 220 200 200
Maximale bedrijfstemperatuur 1750 1750 1700 1500
Volumeweerstand bij 20℃ Ω·cm 1015 1015 1014 1014
Diëlektrische sterkte kV/mm 22 20 16 15
Diëlektrische constante (kamertemperatuur) / 10 11 11.5 11
MHz diëlektrische verliesfactor bruin δ 1×10-3 1×10-3 3×10-3 3×10-3

 

Item Eenheid Siliciumnitride
Dikte g/cm3 >3.2
Hardheid HRA90
Vickers-hardheid (HV50) HV0.5 >1550
Elasticiteitsmodulus GPa 290
Buigsterkte MPa >600
Druksterkte MPa 2500
Breuktaaiheid MPam1/2 >6.0
Maximale gebruikstemperatuur 1200
Thermische geleidbaarheid W / (M·K) 15-20
Thermische uitzettingscoëfficiënt 10-6/℃ >3.1
Thermische schokbestendigheid △T℃ 500
Specifieke warmtecapaciteit KJ/kg·K 700
Diëlektrische sterkte kV/mm 1
Diëlektrische constante er
Volumeweerstand bij 20℃ Ω.cm 1,0×1012

Standaardmaatreferentie keramische arm/eind-effector

Keramische arm

Keramische armen/eind-effectoren Zijn belangrijke componenten die worden gebruikt voor het hanteren van wafers in de halfgeleiderproductie. We kunnen ze aanpassen aan de grootte van de wafer, het type apparatuur en de procesvereisten. Hier zijn enkele veelvoorkomende standaardafmetingen van keramische armen ter referentie!

 

Kies de lengte van de keramische arm op basis van de wafer:

❇️6-inch wafer (150 mm): Armlengte: ongeveer 200-250 mm

❇️8-inch wafer (200 mm): Armlengte: ongeveer 250-300 mm

❇️12-inch wafer (300 mm): Armlengte: ongeveer 350-400 mm

❇️18-inch wafer (450 mm): Armlengte: ongeveer 500-550 mm

Breedte en dikte van keramische arm

❇️Breedte:  Typisch 20-50 mm, afhankelijk van de grootte van uw wafer en de vereiste armbelastingscapaciteit.

❇️Dikte:  Typisch 5-15 mm, om voldoende sterkte en stijfheid te garanderen en het gewicht te verminderen.

 

Arm-eindontwerp

❇️Vorkontwerp: wordt vaak gebruikt voor het hanteren van wafers. De breedte en afstand van de vorken komen overeen met de sleuven van de waferdoos.

❇️Ontwerp met vacuümzuignap: kan de wafer direct absorberen, de gebruikelijke zuignapgrootte is 10-20 mm

❇️Randklemontwerp: gebruikt voor speciale processen, de breedte van het klemgebied is 5-10 mm

Waarvoor worden keramische armen gebruikt?

Industriële robotarm

Keramische armen worden gebruikt in zeer precieze, slijtvaste en corrosiebestendige industriële robots en kunnen stabiel werken in bepaalde omgevingen met precisieverwerking en hoge temperaturen.

Halfgeleiderproductie

Bij het productieproces van chips moeten siliciumwafers tussen verschillende processtappen (zoals lithografie, etsen, depositie, enz.) worden verplaatst. Keramische armen kunnen hierbij in een stofvrije omgeving als manipulatoren dienen.

Elektronicaproductie

Keramische armen voor elektronische productie zijn geschikt voor processen met hoge reinheidseisen, zoals vacuümcoating, chipproductie en OLED-displayproductie. Ze kunnen de invloed van thermische uitzetting van metalen materialen voorkomen en de stabiliteit verbeteren.

Wetenschappelijk onderzoek

Keramische armen kunnen worden gebruikt in laboratoriumapparatuur waar corrosiebestendigheid en bestendigheid tegen hoge temperaturen een vereiste zijn. Dit geldt onder meer voor chemische synthese, plasma-experimenten en onderzoek naar supergeleiding.

Voedings- en farmaceutische industrie

Keramische materialen bevatten geen metaalionenneerslag en zijn geschikt voor sectoren zoals voedselverwerking en farmaceutische verpakkingen waar een extreem hoge materiaalreinheid vereist is.

Eén-stop keramische arm productieservice

15+ Jarenlange ervaring. Hoge precisie en OEM-ontwerp. Professioneel R&D-team. Concurrerende prijzen.

Onze Pass-successen Getuigenissen

Gebruikersbeoordelingen
Zal de keramische arm/het keramische uiteinde-effector na verloop van tijd slijten?

Ja, de keramische arm zal na verloop van tijd slijten, vooral in zware en ruwe omgevingen. Maar maak je geen zorgen, keramiek is een zeer hard en duurzaam materiaal, en mits goed onderhouden, kun je er jarenlang plezier van hebben.

Wat kan ervoor zorgen dat een keramische arm breekt?

Snelle temperatuurschommelingen kunnen een thermische schok veroorzaken en de keramische arm doen breken. Overbelasting, een botsing of een zware impact die de nominale capaciteit overschrijdt, kunnen ook breuk veroorzaken.

Hoe vaak moet u uw keramische arm controleren?

Regelmatige wekelijkse inspecties stellen u in staat om problemen vroegtijdig te signaleren. Keramische armen kunnen na langdurig gebruik slijten, barsten of losraken. Wij raden u aan regelmatig onderhoud uit te voeren.