웨이퍼 가공 분야의 뛰어난 ALN 히터 방열 전문가
ALN 히터 우리의 주요 제품 중 하나입니다. 두 세계의 장점을 결합: 세라믹과 금속. 이 혁신적인 디자인은 을 통해 달성됨 금속화, 다양한 용도에 적합한 완벽한 솔루션입니다. 반도체 및 전자 장비 제조 필요.
우리는 활용합니다 고성능 알루미늄 질화물 소재 ALN 히터에 뛰어난 열 균일성과 내식성을 부여합니다. 이상적으로 적합하게 만들어줍니다 웨이퍼 처리. 또한, 우리는 제공합니다 맞춤형 서비스 귀하의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 당신을 돕는 생산 및 처리 효율성 향상 귀하의 제품의 품질을 향상시키세요.
ALN 히터의 특징 공개:
- 뛰어난 온도 필드 균일성:
당사의 ALN 히터는 다음으로 제작됩니다. 고열전도도 알루미늄 질화물 소재, 넓은 온도 범위(최대 섭씨 790도)에 걸쳐 탁월한 온도장 균일성을 보장합니다. 이는 웨이퍼 처리 중 일정한 온도를 의미합니다. 궁극적으로 제품 수율과 생산 처리 속도가 향상됩니다.
- 공간 절약형 디자인:
을 통해 저항 가열 소자와 블록 RF 전극의 공동 소결 ALN 세라믹 내부에서 우리는 ALN 히터에 대해 컴팩트하고 효율적인 디자인을 구현했습니다. 이는 장비의 전체 크기를 줄일 뿐만 아니라 가열 효율성과 열 전달 속도도 향상시킵니다. 귀중한 생산 공간을 절약합니다.
- 우수한 내식성:
그만큼 질화알루미늄 세라믹 히터 할로겐 가스와 산화 환경으로 인한 부식에 대한 뛰어난 내성을 자랑합니다. 이를 통해 고온 및 연속 작동 설정에서 장기 안정성을 유지할 수 있습니다. 장비의 수명을 연장하고 일상적인 운영 및 유지관리 비용을 절감합니다.
- 웨이퍼용 클램핑 기능 설계 보류:
RF 전극을 세라믹판과 소결하여, ALN 히터는 다음 기능을 통합합니다. 웨이퍼 클램핑용 정전척 전극. 이 기능은 생산 프로세스를 단순화합니다. 생산 속도와 효율성이 향상되어 웨이퍼 처리 분야에서 매우 가치 있는 이점이 됩니다.
- 맞춤형 솔루션:
우리는 모든 생산 공정에 고유한 요구 사항이 있다는 것을 알고 있습니다. 그래서 우리는 제공합니다 맞춤형 ALN 히터 솔루션 여러분의 다양한 요구를 충족시켜 드립니다. 크기이든, 전력 요구 사항, 또는 전극 구성, 우리는 귀사의 특정 생산 공정에 완벽하게 통합되도록 제품을 맞춤 제작할 수 있습니다.
ALN 소재 속성 데이터:
다음 표는 AlN 소재의 주요 특성을 요약한 것입니다.
| 이름 | 순도[%] | 밀도 [g/cm³] | 체적 저항률 [Ωcm] (실온) | 열전도도 [W/m·K] (실온) | 열팽창계수(1000℃) | 강도 [MPa] (실온) | 영률[GPa] (실온) | 유전율(13.56MHz, 릴레이) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlN/알루미늄 질화물 | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
| AlN/알루미늄 질화물 | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
| AlN/알루미늄 질화물 | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
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