ゴージャスなALNヒーター ウェーハ処理における放熱の専門家
ALNヒーター 当社の注目商品の一つです。 両方の長所を組み合わせたもの: 陶磁器と金属. この革新的なデザインは、 達成を通じて メタライゼーション, さまざまなニーズに最適なソリューションです 半導体および電子機器製造 ニーズ。
私たちは活用します 高性能窒化アルミニウム材料 ALNヒーターに優れた熱均一性と耐腐食性を与えるため、 それは理想的です ウェハ処理. さらに、 私たちが提供する カスタマイズされたサービス お客様の多様なニーズにお応えするために、 あなたを助ける 生産および処理効率を向上させる 製品の品質を向上させます。
ALNヒーターの特徴をご紹介します。
- 優れた温度場均一性：
当社のALNヒーターは 高熱伝導性窒化アルミニウム材料, 広い温度範囲（最大 790 ℃）にわたって優れた温度場均一性を保証します。 これは、ウェハ処理中の温度の一定化につながります。 最終的には製品の歩留まりと生産処理速度が向上します。
- 省スペース設計：
を通して 抵抗加熱素子とブロックRF電極の共焼結 ALNセラミック内部では、 ALNヒーターのコンパクトで効率的な設計を実現しました。 これにより、機器全体のサイズが縮小されるだけでなく、加熱効率と熱伝達速度が向上します。 貴重な生産スペースを節約します。
- 優れた耐腐食性：
その 窒化アルミニウムセラミックヒーター ハロゲンガスや酸化環境による腐食に対して優れた耐性を誇ります。 これにより、高温および連続運転環境でも長期安定性を維持することができます。 機器の耐用年数を延ばし、日常的な運用とメンテナンスのコストを削減します。
- ウェーハのクランプ機能の設計保留：
高周波電極をセラミック板で焼結することにより、 ALNヒーターは、 ウェハクランプ用静電チャック電極. この機能により、生産プロセスが簡素化され、 これにより生産速度と効率が向上し、ウェハ処理において非常に価値のあるメリットとなります。
- カスタマイズされたソリューション:
私たちは、すべての生産プロセスに独自の要件があることを理解しています。 だからこそ私たちは カスタマイズされたALNヒーターソリューション お客様の多様なニーズにお応えします。 大きさであっても、 電力要件、 または電極構成、 お客様の特定の生産プロセスに完全に統合されるように製品をカスタマイズできます。
ALN材料 プロパティデータ:
次の表は、AlN 材料の主な特性をまとめたものです。
| 名前 | 純度 [%] | 密度 [g/cm³] | 体積抵抗率[Ωcm]（室温） | 熱伝導率 [W/m·K] (室温) | 熱膨張係数（1000℃） | 強度 [MPa] (室温) | ヤング率 [GPa] (室温) | 誘電率（13.56MHz、リレー） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AlN/窒化アルミニウム | 95 | 3.3 | >1E+15 | 170 | 5.7 | >300 | 300 | 8.6 |
| AlN/窒化アルミニウム | 97 | 3.31 | >1E+8 ~ +13 | 100 | 5.6 | >300 | 300 | 8.8 |
| AlN/窒化アルミニウム | 99 | 3.32 | >1E+15 | 80 | 5.6 | >250 | 300 | 8.6 |
ゴージャスな違いを体験してください:
ゴージャスでは、 当社は、お客様の半導体および電子機器製造のニーズに応える革新的で高性能なソリューションを提供することに尽力しています。 今すぐGORGEOUSにお問い合わせください お客様の特定の要件について話し合い、窒化アルミニウムセラミックヒーターがウェハ処理の効率にどのような革命をもたらすかについて詳しくお知りになりたい場合は、お気軽にお問い合わせください。
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