ركائز الألومينا لدوائر الأغشية الرقيقة

Al2O3 %: ≥99.6

الموصلية الحرارية: ≥30 واط/م ك عند 25 درجة مئوية

الحجم: يصل إلى قطر 8 بوصة

TCE: 7.1 جزء في المليون/درجة مئوية (25-300 درجة مئوية)

السُمك: 0.05~2 مم، ±2%

تشطيب السطح:

الكثافة: ≥3.9 جم/سم3

كما تم إطلاقه: 50-80 نانومتر / 80-150 نانومتر

امتصاص الماء %:0

متداخلة: <300 نانومتر

قوة الانحناء: 550 ميجا باسكال

مصقول: ≤25 نانومتر

ثابت العزل الكهربائي: 9.9±0.1@10 جيجاهرتز

مقاومة الحجم: ≥1*1014 Ω.سم

ظل الخسارة العازلة: 0.0001@10 جيجاهرتز

القوة العازلة: ≥15 كيلو فولت/مم